基于光热偏转法的激光薄膜损伤识别研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-21页 |
| ·研究背景 | 第9页 |
| ·常见的光学薄膜损伤识别方法 | 第9-12页 |
| ·国内外发展状况 | 第12-18页 |
| ·研究总路线及主要研究内容 | 第18-20页 |
| ·研究总路线 | 第18-19页 |
| ·主要研究内容 | 第19-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 2 光热偏转法识别薄膜损伤理论 | 第21-29页 |
| ·光热偏转法的识别薄膜损伤原理和特点 | 第21-22页 |
| ·光热偏转法的识别薄膜损伤原理概述 | 第21-22页 |
| ·光热偏转法的特点 | 第22页 |
| ·三种光热偏转方案 | 第22页 |
| ·光热偏转检测理论 | 第22-26页 |
| ·三层介质模型 | 第22-24页 |
| ·三层介质模型的解 | 第24页 |
| ·光束偏转角的计算 | 第24-26页 |
| ·反射式光热偏转薄膜损伤识别模型 | 第26-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 3 基于象限探测器的光热偏转偏移量识别系统 | 第29-40页 |
| ·基于象限探测器的损伤偏移量识别系统 | 第29-38页 |
| ·基于象限探测器偏移量识别系统总体介绍 | 第29-30页 |
| ·基于象限探测器的薄膜损伤系统 | 第30页 |
| ·基于象限探测器损伤偏移量识别系统 | 第30-37页 |
| ·偏移量识别系统放大和差电路 | 第37-38页 |
| ·象限探测器的偏移量表征和计算 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 4 基于CCD的光热偏转偏移量识别系统 | 第40-45页 |
| ·基于CCD的偏移量识别系统 | 第40-43页 |
| ·基于CCD的偏移量识别系统总体介绍 | 第40页 |
| ·基于CCD的薄膜损伤系统 | 第40-41页 |
| ·基于CCD的偏移量识别系统 | 第41-43页 |
| ·CCD的校正和偏移量表征 | 第43-44页 |
| ·CCD的校正 | 第43页 |
| ·偏移量的表征 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 5 实验结果及分析 | 第45-61页 |
| ·基于四象限探测器实验结果及分析 | 第45-52页 |
| ·损伤识别实验及结果 | 第45-48页 |
| ·拐点处损伤形貌及光学特性 | 第48-50页 |
| ·SiO_2薄膜损伤判据和阈值的确定 | 第50-52页 |
| ·CCD的实验结果及分析 | 第52-59页 |
| ·损伤识别实验及结果 | 第52-55页 |
| ·拐点处损伤形貌及光学特性 | 第55-58页 |
| ·SiO_2薄膜损伤判据和阈值的确定 | 第58-59页 |
| ·实验结果影响因素分析 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 6 总结与展望 | 第61-65页 |
| ·总结 | 第61-63页 |
| ·光热偏转识别薄膜损伤理论 | 第61-62页 |
| ·基于光热偏转的损伤偏移量识别系统 | 第62页 |
| ·损伤识别实验结论 | 第62-63页 |
| ·两种系统下SiO_2薄膜的损伤判据 | 第63页 |
| ·两种系统下SiO_2薄膜的损伤阈值 | 第63页 |
| ·展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-72页 |
