| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| ·研究背景 | 第10-11页 |
| ·研究意义 | 第11页 |
| ·晶硅制绒方法 | 第11-16页 |
| ·单晶硅制绒 | 第11-13页 |
| ·多晶硅制绒 | 第13-16页 |
| ·金属离子自组装制绒 | 第16-17页 |
| ·制绒原理 | 第16页 |
| ·研究现状 | 第16-17页 |
| ·本文的研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 超声驻波控制粒子的原理及方法 | 第19-34页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·声波、声场及声压的描述 | 第19-20页 |
| ·理想流体介质中声波的三个基本方程 | 第20-29页 |
| ·在超声驻波场中粒子的受力情况及分析 | 第29-30页 |
| ·一维超声驻波场中粒子的受力分析及运动分析 | 第30-32页 |
| ·二维超声驻波场中粒子的受力分析及运动分析 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 超声驻波控制粒子的运动模拟 | 第34-41页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·一维超声驻波场中粒子运动的模拟 | 第34-37页 |
| ·超声频率对粒子运动的影响 | 第34-36页 |
| ·声压幅值对粒子运动的影响 | 第36-37页 |
| ·粒子半径对粒子运动的影响 | 第37页 |
| ·二维超声驻波场中粒子的运动模拟 | 第37-38页 |
| ·二维超声驻波场中的声势阱模拟 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 基于超声驻波的金属离子自组装制绒试验 | 第41-61页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·金属离子自组装制绒试验原理 | 第41-43页 |
| ·实验仪器与设备简介 | 第43-45页 |
| ·超声驻波控制实验及超声驻波金属离子自组装制绒试验 | 第45-50页 |
| ·空气中超声驻波控制颗粒实验 | 第45-48页 |
| ·液体中超声驻波控制颗粒实验 | 第48-49页 |
| ·超声驻波金属离子自组装制绒试验 | 第49-50页 |
| ·试验结果分析——绒面分析 | 第50-55页 |
| ·AgNO_3浓度对制绒单晶硅绒面的影响 | 第50-51页 |
| ·H_2O_2浓度对制绒单晶硅绒面的影响 | 第51-52页 |
| ·HF 浓度对制绒单晶硅绒面的影响 | 第52-53页 |
| ·超声驻波对制绒单晶硅绒面的影响 | 第53-55页 |
| ·试验结果分析——反射率分析 | 第55-60页 |
| ·AgNO_3浓度对反射率的影响 | 第58页 |
| ·H_2O_2浓度对反射率的影响 | 第58-59页 |
| ·HF 浓度对反射率的影响 | 第59页 |
| ·超声驻波对反射率的影响 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 总结与展望 | 第61-63页 |
| ·总结 | 第61页 |
| ·展望 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 附录 | 第68页 |