固结磨料研磨抛光垫基体的砂浆磨损特性研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-12页 |
| 注释表 | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-22页 |
| ·引言 | 第13页 |
| ·化学机械研磨抛光技术 | 第13-15页 |
| ·化学机械研磨抛光简介 | 第13-14页 |
| ·化学机械研磨抛光研究现状 | 第14-15页 |
| ·固结磨料研磨抛光技术 | 第15-20页 |
| ·固结磨料研磨抛光简介 | 第15-17页 |
| ·固结磨料研磨抛光发展现状 | 第17-19页 |
| ·固结磨料研磨抛光垫自修整研究 | 第19-20页 |
| ·冲蚀磨损实验主要方法 | 第20-21页 |
| ·本文主要研究内容 | 第21-22页 |
| 第二章 砂浆磨损实验 | 第22-33页 |
| ·实验原理 | 第22-27页 |
| ·树脂基体冲蚀磨损过程 | 第22-23页 |
| ·砂浆磨损率 | 第23-24页 |
| ·实验装置 | 第24-26页 |
| ·实验流程 | 第26-27页 |
| ·实验关键参数设定 | 第27-29页 |
| ·实验时长 | 第27页 |
| ·烘干温度 | 第27页 |
| ·烘干时间 | 第27-29页 |
| ·实验精度考察 | 第29-32页 |
| ·数据处理方法 | 第29页 |
| ·实验结果稳定性研究 | 第29-31页 |
| ·实验结果准确性研究 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 树脂基体的砂浆磨损特性 | 第33-55页 |
| ·砂浆流场的仿真分析 | 第33-44页 |
| ·CFD 方法及 FLUENT 简介 | 第33-34页 |
| ·三维模型的设定 | 第34-36页 |
| ·计算模型与求解策略 | 第36-37页 |
| ·固液两相分布的模拟 | 第37-44页 |
| ·因素水平对于砂浆磨损特性的影响 | 第44-49页 |
| ·实验考察的条件因素 | 第44-45页 |
| ·各因素正交实验 | 第45-49页 |
| ·树脂特性对砂浆磨损特性的影响 | 第49-53页 |
| ·硬度对砂浆磨损特性的影响 | 第50-51页 |
| ·溶胀率对砂浆磨损特性的影响 | 第51-52页 |
| ·含添加料树脂基体砂浆磨损特性研究 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 第四章 亲水性固结磨料研磨垫自修整过程的实现探索 | 第55-64页 |
| ·研磨实验 | 第55-60页 |
| ·实验方案 | 第55-56页 |
| ·去除率结果 | 第56-57页 |
| ·研磨垫表面形貌 | 第57-60页 |
| ·砂浆磨损实验 | 第60-62页 |
| ·实验方案 | 第60-61页 |
| ·结果与分析 | 第61-62页 |
| ·自修整过程探讨 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 总结与展望 | 第64-66页 |
| ·总结 | 第64-65页 |
| ·展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 在校期间的学术成果 | 第71页 |
| 1.学术论文 | 第71页 |
| 2.申请的发明专利 | 第71页 |
