| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-14页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·像差检测的国内外现状 | 第7页 |
| ·像差的检测方法 | 第7-12页 |
| ·位移传感器的应用情况 | 第12-13页 |
| ·研究目的及意义 | 第13页 |
| ·主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第二章 像差的基础理论和哈特曼法检测像差概述 | 第14-21页 |
| ·像差概述 | 第14-17页 |
| ·哈特曼法像差检测原理 | 第17-21页 |
| 第三章 基于位移传感器的像差检测系统 | 第21-32页 |
| ·总体方案 | 第21页 |
| ·平行光管 | 第21-26页 |
| ·待测系统要求 | 第26-27页 |
| ·位移传感器和光电接收系统 | 第27-32页 |
| 第四章 基于位移传感器的像差检测光学系统设计 | 第32-42页 |
| ·平行光管光学系统设计 | 第32-36页 |
| ·CCD接收系统光学系统设计 | 第36-42页 |
| 第五章 像差检测光学系统公差分析 | 第42-47页 |
| ·光学系统公差的制定方法与原则 | 第42页 |
| ·检测像差光学系统的公差分析 | 第42-47页 |
| 结论与展望 | 第47-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49页 |