| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-17页 |
| ·引言 | 第11-12页 |
| ·SiC 反射镜发展现状 | 第12-14页 |
| ·表面改性 SiC 反射镜表面缺陷 | 第14-15页 |
| ·本论文研究意义和主要内容 | 第15-17页 |
| 第2章 表面改性 SiC 反射镜加工工艺方法介绍 | 第17-28页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·SiC 材料的性质及常用种类 | 第17-20页 |
| ·SiC 反射镜改性技术简介 | 第20-22页 |
| ·SiC 反射镜加工工艺 | 第22-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 PVD 改性 RB-SiC 表面缺陷形成机理 | 第28-34页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·表面缺陷的定义 | 第28-29页 |
| ·表面缺陷的形成机理 | 第29-32页 |
| ·精抛光的物理、化学作用 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第4章 缺陷的处理方法 | 第34-52页 |
| ·引言 | 第34-36页 |
| ·Preston 方程的应用及材料去除效率数学模型的建立 | 第36-40页 |
| ·依据 Preston 方程的研究方法及工艺优化 | 第40-48页 |
| ·冲击力拟合曲线 | 第48-49页 |
| ·结论及应用 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 结论及展望 | 第52-54页 |
| ·研究结果与创新点 | 第52页 |
| ·结论 | 第52-53页 |
| ·展望 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-63页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第63-64页 |
| 指导教师及作者简介 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65页 |