ZnO：Al透明导电薄膜的制备及性能研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-21页 |
| ·ZNO薄膜的晶体结构 | 第12-13页 |
| ·ZNO薄膜的基本性质 | 第13-15页 |
| ·ZnO薄膜的光学性质 | 第13-14页 |
| ·ZnO薄膜的电学性质 | 第14-15页 |
| ·ZnO薄膜的其他性质 | 第15页 |
| ·ZNO薄膜的制备方法 | 第15-19页 |
| ·磁控溅射法 | 第16页 |
| ·脉冲激光沉积 | 第16-17页 |
| ·分子束外延 | 第17页 |
| ·金属有机化学气相沉积 | 第17-18页 |
| ·喷雾热解法 | 第18页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第18-19页 |
| ·溶胶-凝胶制备AZO薄膜的研究现状 | 第19页 |
| ·论文的研究目的和主要内容 | 第19-21页 |
| 第2章 溶胶-凝胶法成膜原理 | 第21-27页 |
| ·溶胶-凝胶法的基本制备过程 | 第21-22页 |
| ·溶胶-凝胶法的原料分类及作用 | 第22-23页 |
| ·溶胶-凝胶法反应过程 | 第23-24页 |
| ·溶胶-凝胶制备薄膜的方法 | 第24-27页 |
| ·浸渍提拉法 | 第24-25页 |
| ·旋涂法 | 第25-27页 |
| 第3章 实验方案和表征手段 | 第27-34页 |
| ·实验原料和设备 | 第27-28页 |
| ·实验原料 | 第27页 |
| ·实验设备 | 第27-28页 |
| ·AZO薄膜的制备过程 | 第28-29页 |
| ·薄膜的制备流程图 | 第28页 |
| ·溶胶的制备 | 第28页 |
| ·基片的前处理 | 第28-29页 |
| ·浸渍提拉法涂膜 | 第29页 |
| ·薄膜的热处理 | 第29页 |
| ·表征手段 | 第29-34页 |
| ·X射线衍射测试 | 第30页 |
| ·扫描电子显微镜表征表面形貌 | 第30-31页 |
| ·四探针电阻率测试仪测电阻率 | 第31-32页 |
| ·可见光分光光度计测薄膜的透光率 | 第32-34页 |
| 第4章 AZO薄膜制备的正交试验设计 | 第34-42页 |
| ·正交试验设计的基本理论 | 第34-35页 |
| ·正交试验因素的选取和确定 | 第35-39页 |
| ·溶胶浓度 | 第35-36页 |
| ·掺杂浓度 | 第36页 |
| ·涂膜次数 | 第36页 |
| ·前处理温度和退火温度 | 第36-38页 |
| ·正交试验表 | 第38-39页 |
| ·正交试验结果及分析 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第5章 工艺参数对AZO薄膜性质的影响 | 第42-59页 |
| ·前处理温度对AZO薄膜性质的影响 | 第42-45页 |
| ·退火温度对AZO薄膜性质的影响 | 第45-49页 |
| ·掺杂浓度对AZO薄膜性质的影响 | 第49-52页 |
| ·涂膜次数对AZO薄膜性质的影响 | 第52-56页 |
| ·本章小结 | 第56-59页 |
| 第6章 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 攻读硕士学位期间论文发表及科研情况 | 第66页 |
