| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·研究的目的与意义 | 第8-17页 |
| ·太赫兹通信简介 | 第8-11页 |
| ·太赫兹滤波器及其研究现状 | 第11-17页 |
| ·论文的主要内容 | 第17-18页 |
| 第二章 滤波器的基本理论 | 第18-28页 |
| ·滤波器传输函数 | 第18-19页 |
| ·切比雪夫(Chebyshev)响应及其低通原型滤波器 | 第19-22页 |
| ·切比雪夫响应 | 第19-20页 |
| ·切比雪夫低通原型滤波器 | 第20-22页 |
| ·频率变换 | 第22-25页 |
| ·阻抗变换器 | 第25-27页 |
| ·腔体滤波器的种类 | 第27-28页 |
| 第三章 太赫兹滤波器的设计方案选择 | 第28-43页 |
| ·滤波器指标 | 第28页 |
| ·滤波器的设计方案 | 第28-31页 |
| ·矩形波导滤波器的设计过程 | 第31-36页 |
| ·波导谐振器 | 第31-32页 |
| ·耦合结构 | 第32-33页 |
| ·设计步骤 | 第33-36页 |
| ·设计实例 | 第36-43页 |
| ·耦合矩阵 | 第36-38页 |
| ·滤波器结构实现 | 第38-43页 |
| 第四章 太赫兹滤波器的制作工艺及其分析 | 第43-57页 |
| ·滤波器的制作工艺流程 | 第43-44页 |
| ·MEMS工艺流程介绍 | 第44-47页 |
| ·滤波器的工艺分析及工艺仿真 | 第47-57页 |
| ·硅片选择 | 第47-50页 |
| ·掩模板精度 | 第50-51页 |
| ·深槽刻蚀 | 第51-52页 |
| ·金属化 | 第52-53页 |
| ·键合和划片 | 第53-55页 |
| ·夹具 | 第55-57页 |
| 第五章 太赫兹滤波器的加工、组装和测试 | 第57-70页 |
| ·滤波器的加工过程 | 第57-62页 |
| ·夹具的制作与滤波器的组装 | 第62-64页 |
| ·滤波器的测试与测试分析 | 第64-68页 |
| ·第二批滤波器的加工与测试 | 第68-70页 |
| 第六章 结论 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第75页 |