| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| ·研究背景 | 第8-9页 |
| ·反射镜基片超光滑表面结构特征及其对反射镜光学性能的影响 | 第9-11页 |
| ·表面粗糙度对反射镜光学性能的影响 | 第9-11页 |
| ·亚表层损伤对反射镜光学性能的影响 | 第11页 |
| ·表面污染对反射镜光学性能的影响 | 第11页 |
| ·论文研究内容 | 第11-14页 |
| 第二章 激光陀螺反射镜基片检测技术概述 | 第14-26页 |
| ·表面轮廓检测 | 第14-23页 |
| ·表面微观形貌检测 | 第15-20页 |
| ·表面波纹度检测 | 第20-21页 |
| ·表面面形检测 | 第21-23页 |
| ·反射镜基片表面疵病检测 | 第23-24页 |
| ·反射镜基片表面亚表层损伤检测 | 第24-26页 |
| 第三章 反射镜基片表面粗糙度评价技术 | 第26-50页 |
| ·反射镜基片表面粗糙度的空间波长周期范围 | 第26-28页 |
| ·表面粗糙度的轮廓均方根(RMS)参数评价 | 第28-35页 |
| ·光学轮廓仪的空间频率响应 | 第28-30页 |
| ·光学轮廓仪物镜的选择 | 第30-35页 |
| ·表面粗糙度的功率谱密度(PSD)参数评价 | 第35-39页 |
| ·功率谱密度(PSD)介绍 | 第35-36页 |
| ·PSD相关标准 | 第36-37页 |
| ·PSD曲线中包含的信息 | 第37-39页 |
| ·反射镜基片采用PSD方法评价的实验研究 | 第39-47页 |
| ·不同抛光工艺方法获得的超光滑表面微观形貌分析 | 第39-44页 |
| ·用PSD曲线指导反射镜基片加工 | 第44-46页 |
| ·借助PSD曲线讨论原子力显微镜的扫描面积问题 | 第46-47页 |
| ·小结 | 第47-50页 |
| 第四章 球面反射镜基片面形和曲率半径测试研究 | 第50-70页 |
| ·曲率半径的光学轮廓仪和激光平面干涉仪检测 | 第50-57页 |
| ·使用光学轮廓仪的测量试验 | 第51-52页 |
| ·使用激光平面干涉仪的测量试验 | 第52页 |
| ·光学轮廓仪和激光平面干涉仪测量试验对比 | 第52-57页 |
| ·测量方法分析 | 第57-58页 |
| ·表面波纹度对曲率半径测量的影响 | 第58-69页 |
| ·理论分析 | 第58-60页 |
| ·实际测量中不同取样面积、不同测量点对曲率半径测量的影响 | 第60-68页 |
| ·结论 | 第68-69页 |
| ·小结 | 第69-70页 |
| 第五章 总结与展望 | 第70-74页 |
| ·论文工作总结 | 第70-71页 |
| ·今后工作的展望 | 第71-74页 |
| 致谢 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-79页 |