难加工材料激光与化学复合刻蚀加工的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 致谢 | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-18页 |
| ·课题背景 | 第12-13页 |
| ·难加工材料现有的激光复合加工工艺方法 | 第13-15页 |
| ·研究激光与化学复合刻蚀加工技术的意义和设想 | 第15-16页 |
| ·研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 激光与化学复合刻蚀加工基本原理 | 第18-22页 |
| ·激光束特性及其对材料的作用 | 第18-19页 |
| ·激光束特性 | 第18页 |
| ·激光对材料的作用 | 第18-19页 |
| ·激光加工材料的机理及激光铣削原理 | 第19-20页 |
| ·激光与化学复合刻蚀加工基本原理 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 试验装置及试验方案设计 | 第22-26页 |
| ·试验设备与装置 | 第22-23页 |
| ·试验材料 | 第23页 |
| ·腐蚀液的特性 | 第23-24页 |
| ·试验方案设计 | 第24-25页 |
| ·复合加工方式 | 第24-25页 |
| ·试验方案设计 | 第25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第四章 加工参数对复合加工蚀除量的影响 | 第26-37页 |
| ·不同复合加工方式的加工效果对比 | 第26-27页 |
| ·腐蚀液参数对复合加工蚀除量的影响 | 第27-29页 |
| ·腐蚀液成分对复合加工蚀除量的影响 | 第27-28页 |
| ·腐蚀液浓度对复合加工蚀除量的影响 | 第28-29页 |
| ·腐蚀液流速对复合加工蚀除量的影响 | 第29页 |
| ·激光工艺参数对复合加工蚀除量的影响 | 第29-32页 |
| ·激光脉冲能量对复合加工蚀除量的影响 | 第29-30页 |
| ·激光扫描速度对复合加工蚀除量的影响 | 第30-31页 |
| ·激光脉冲宽度对复合加工蚀除量的影响 | 第31页 |
| ·激光重复频率对复合加工蚀除量的影响 | 第31-32页 |
| ·不同材料的复合加工蚀除量对比分析 | 第32-34页 |
| ·腐蚀液参数对不同材料复合加工蚀除量的影响 | 第32-33页 |
| ·激光工艺参数对不同材料复合加工蚀除量的影响 | 第33-34页 |
| ·复合加工与单纯激光铣削蚀除量的对比分析 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第五章 加工参数对复合加工表面质量的影响 | 第37-47页 |
| ·腐蚀液参数对复合加工表面质量的影响 | 第37-38页 |
| ·腐蚀液成分对复合加工表面质量的影响 | 第37页 |
| ·腐蚀液浓度对复合加工表面质量的影响 | 第37页 |
| ·腐蚀液流速对复合加工表面质量的影响 | 第37-38页 |
| ·激光工艺参数对复合加工表面质量的影响 | 第38-40页 |
| ·激光脉冲能量对复合加工表面质量的影响 | 第38-39页 |
| ·激光脉冲宽度对复合加工表面质量的影响 | 第39页 |
| ·激光重复频率对复合加工表面质量的影响 | 第39-40页 |
| ·复合加工与单纯激光铣削表面质量的对比分析 | 第40-43页 |
| ·激光扫描路径对加工表面质量的影响 | 第43-45页 |
| ·直线型扫描路径 | 第43页 |
| ·环形扫描路径 | 第43-45页 |
| ·复合加工参数优化及加工效果分析 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第六章 激光与化学复合刻蚀加工机理的分析 | 第47-60页 |
| ·复合加工的物理过程 | 第47-51页 |
| ·腐蚀液以及试样表面材料加热过程 | 第47页 |
| ·试样表面材料的熔化与气化 | 第47-48页 |
| ·熔体的喷溅与溶解 | 第48-51页 |
| ·化学反应过程分析 | 第51-56页 |
| ·表面微观形貌分析 | 第56-59页 |
| ·单纯激光铣削表面的微观形貌分析 | 第56-57页 |
| ·复合加工表面的微观形貌分析 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第七章 总结与展望 | 第60-62页 |
| ·全文总结 | 第60-61页 |
| ·技术展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第65页 |