高功率射频CO2激光器放电机理研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| ·射频激光器国内外发展动态 | 第8-10页 |
| ·射频气体放电特点 | 第10-11页 |
| ·本文研究内容及意义 | 第11-13页 |
| 2 射频放电等离子体分析 | 第13-31页 |
| ·带电粒子在高频场中的运动 | 第13-21页 |
| ·高频放电击穿理论 | 第21-25页 |
| ·放电区等离子体特性 | 第25-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 3 激励频率对放电特性的影响 | 第31-42页 |
| ·频率与击穿电压的关系 | 第31-33页 |
| ·频率对极板电压分布的影响 | 第33-34页 |
| ·频率对射频放电阻抗的影响 | 第34-35页 |
| ·辉光放电区域分布随频率的变化 | 第35-40页 |
| ·激励频率的选择 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 4 气体参数的选择 | 第42-51页 |
| ·气体配比和气压对放电特性影响 | 第42-47页 |
| ·X_E 在对激光器工作特性的影响 | 第47-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 5 CO_2 的分解对气体放电的影响 | 第51-60页 |
| ·CO_2 分解理论分析 | 第51-54页 |
| ·CO_2 分解测量及结果 | 第54-57页 |
| ·CO 的作用 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 6 总结与展望 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 附录(1) | 第67-68页 |
| 附录(2) | 第68-69页 |
