GaAs毫米波宽带功率MMIC
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·GaAs微波单片集成电路及应用 | 第7-8页 |
| ·GaAs MMIC发展趋势 | 第8-9页 |
| ·毫米波MMIC技术特点及应用方向 | 第9-11页 |
| ·宽带MMIC技术特点及应用方向 | 第11-12页 |
| ·课题研究意义和论文组织 | 第12-15页 |
| 第二章 GaAs器件设计与建模 | 第15-39页 |
| ·GaAs功率器件材料设计 | 第15-19页 |
| ·PHEMT器件工作原理 | 第15页 |
| ·PHEMT材料设计方法 | 第15-18页 |
| ·毫米波功率MMIC采用的PHEMT材料结构 | 第18-19页 |
| ·GaAs功率器件结构设计 | 第19-22页 |
| ·PHEMT功率器件模型 | 第22-32页 |
| ·PHEMT小信号模型等效电路 | 第22-24页 |
| ·小信号模型参数提取方法 | 第24-26页 |
| ·PHEMT大信号模型 | 第26-29页 |
| ·大信号模型参数提取方法 | 第29-32页 |
| ·GaAs功率MMIC用到的无源元件 | 第32-39页 |
| ·MIM电容 | 第32-34页 |
| ·背面通孔 | 第34-36页 |
| ·空气桥 | 第36-37页 |
| ·方块电阻 | 第37-39页 |
| 第三章 GaAs毫米波宽带功率MMIC设计方法 | 第39-55页 |
| ·宽带GaAs功率MMIC拓扑原理 | 第39-46页 |
| ·功率MMIC匹配网络 | 第39-40页 |
| ·宽带功率MMIC拓朴选择 | 第40-44页 |
| ·GaAs功率MMIC偏置电路 | 第44-46页 |
| ·GaAs功率MMIC CAD优化方法 | 第46-47页 |
| ·毫米波GaAs功率MMIC的版图布局 | 第47-48页 |
| ·GaAs功率MMIC的稳定性和可靠性设计 | 第48-52页 |
| ·功率MMIC稳定性设计 | 第48-51页 |
| ·器件可靠性设计 | 第51-52页 |
| ·毫米波GaAs功率MMIC设计实例 | 第52-55页 |
| 第四章 GaAs毫米波宽带功率MMIC工艺 | 第55-67页 |
| ·GaAs功率MMIC工艺流程 | 第55-56页 |
| ·GaAs功率MMIC关键工艺 | 第56-61页 |
| ·PHEMT材料生长方法 | 第56-57页 |
| ·台面隔离 | 第57页 |
| ·光刻工艺 | 第57-58页 |
| ·栅挖槽工艺 | 第58-59页 |
| ·器件钝化技术 | 第59-61页 |
| ·GaAs功率MMIC “T”形栅的制作 | 第61-65页 |
| ·0.15μm “T”形栅制备方法 | 第61-62页 |
| ·三层胶电子束直写技术 | 第62-64页 |
| ·介质栅工艺技术 | 第64-65页 |
| ·GaAs功率MMIC的工艺控制 | 第65-67页 |
| 第五章 GaAs毫米波功率MMIC测试方法 | 第67-75页 |
| ·毫米波功率MMIC直流测试 | 第67页 |
| ·毫米波功率MMIC的微波测试 | 第67-75页 |
| ·在片测试 | 第68-69页 |
| ·在片测试校准技术 | 第69-70页 |
| ·夹具测试 | 第70-75页 |
| 第六章 结束语 | 第75-79页 |
| 致谢 | 第79-81页 |
| 参考文献 | 第81-85页 |
| 研究成果 | 第85-86页 |
