铁电存储器用PZT薄膜的制备及性能研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-25页 |
| ·铁电薄膜存储器研究概况 | 第9-13页 |
| ·铁电薄膜存储技术原理 | 第13-16页 |
| ·FeRAM 用铁电薄膜材料的选取 | 第16-20页 |
| ·铁电薄膜材料的制备技术 | 第20-22页 |
| ·铁电薄膜材料的测试与分析 | 第22-24页 |
| ·课题来源 | 第24-25页 |
| 2 PZT 陶瓷靶材的制备 | 第25-30页 |
| ·固相反应法制备PZT 陶瓷靶材 | 第25-27页 |
| ·制备PZT 陶瓷靶材的最佳工艺 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 3 PZT 陶瓷靶材的性能分析 | 第30-46页 |
| ·PZT 陶瓷靶材的相成分分析 | 第30-38页 |
| ·杂相分析 | 第30-33页 |
| ·微观相成分波动分析 | 第33-36页 |
| ·宏观相成分变化分析 | 第36-38页 |
| ·PZT 陶瓷靶材的微结构分析 | 第38-40页 |
| ·V 掺杂对PZT 陶瓷微结构的影响 | 第40-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 4 磁控溅射法制备PZT 铁电薄膜 | 第46-54页 |
| ·溅射工艺原理 | 第46-47页 |
| ·电极材料的制备 | 第47页 |
| ·PZT 薄膜溅射工艺研究 | 第47-49页 |
| ·基片温度对PZT 薄膜铁电性能的影响 | 第49-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 5 PLT/PZT/PLT 薄膜结构性能研究 | 第54-61页 |
| ·PZT 铁电薄膜生长用晶种层 | 第54页 |
| ·PLT 晶种层对PZT 铁电薄膜性能的影响 | 第54-57页 |
| ·PLT/PZT/PLT 结构性能分析 | 第57-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 6 全文总结 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-70页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第70页 |
