压延机产品厚度测量系统的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-14页 |
| ·厚度测量方法的概述 | 第7-8页 |
| ·课题背景和意义 | 第8-12页 |
| ·论文内容简介 | 第12-14页 |
| 第二章 光学传感器的工作原理 | 第14-20页 |
| ·光学传感器测量原理 | 第14-15页 |
| ·光学系统结构设计 | 第15-20页 |
| ·光源的选择 | 第15-16页 |
| ·CCD的选择 | 第16-18页 |
| ·分辨率及放大倍数的确定 | 第18-20页 |
| 第三章 光学法测量系统的设计 | 第20-36页 |
| ·微分法测量电路的设计 | 第20-27页 |
| ·微分法测量电路的原理 | 第20-24页 |
| ·数字预处理电路设计 | 第24-27页 |
| ·数据采集处理，输出和显示 | 第27-36页 |
| ·单片机测控系统介绍 | 第27-28页 |
| ·单片机测控系统的设计 | 第28页 |
| ·软件设计 | 第28-30页 |
| ·数据采集 | 第30-32页 |
| ·输出显示存储 | 第32-36页 |
| 第四章 电容传感器的工作原理 | 第36-41页 |
| ·电容传感器的工作原理 | 第36-37页 |
| ·电容传感器的结构设计 | 第37-38页 |
| ·驱动电缆技术应用 | 第38-41页 |
| 第五章 运算法测量电路设计 | 第41-50页 |
| ·运算法测量电路的原理 | 第41-42页 |
| ·精密稳幅振荡器 | 第42-43页 |
| ·高增益主放大器 | 第43-47页 |
| ·精密整流器 | 第47-48页 |
| ·低通滤波器 | 第48-49页 |
| ·稳压电源 | 第49-50页 |
| 第六章 实验与数据分析 | 第50-65页 |
| ·微动测量台架的结构与工作原理 | 第50-51页 |
| ·电容测厚系统实验 | 第51-59页 |
| ·电容测厚系统的标定实验 | 第51-54页 |
| ·电容测厚系统的分辨率实验 | 第54页 |
| ·电容测厚系统的温度漂移实验 | 第54-55页 |
| ·电容测厚系统的薄膜厚度测量实验 | 第55-56页 |
| ·运算式电容测微仪的测量误差分析 | 第56-59页 |
| ·光学测厚系统实验 | 第59-65页 |
| ·光学测厚系统的标定实验 | 第59-61页 |
| ·光学测厚系统的稳定性实验 | 第61页 |
| ·光学测厚系统膜厚测量实验 | 第61-62页 |
| ·光学测厚系统测量误差分析 | 第62-65页 |
| 第七章 总结与展望 | 第65-66页 |
| ·全文总结 | 第65页 |
| ·展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-68页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
