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ITO透明导电薄膜的组分、微结构及其光电特性研究

摘要第1-4页
Abstract第4-5页
目录第5-7页
第一章 绪论第7-23页
 §1.1 引言第7-9页
 §1.2 国内外的相关研究工作第9-18页
  §1.2.1 国内相关研究第9-14页
  §1.2.2 国外相关研究第14-18页
 §1.3 本文的主要研究工作第18页
 §1.4 小结第18页
 参考文献第18-23页
第二章 ITO透明导电薄膜理论基础及应用第23-30页
 §2.1 ITO透明导电薄膜的结构第23-24页
 §2.2 ITO透明导电薄膜理论基础第24-27页
  §2.2.1 可见光透射率机理第24-25页
  §2.2.2 半导化机理第25-27页
 §2.3 ITO透明导电薄膜应用第27-28页
 §2.4 小结第28页
 参考文献第28-30页
第三章 ITO薄膜的制备、组分、微结构及其光电特性研究第30-50页
 §3.1 样品制备第30-31页
 §3.2 ITO薄膜组分、微结构和光电特性测试第31-33页
  §3.2.1 组分分析第31页
  §3.2.2 微结构—X射线衍射第31-32页
  §3.2.3 微结构—透射电子显微镜(TEM)第32页
  §3.2.4 光学性能测试第32-33页
  §3.2.5 电学性能测试第33页
 §3.3 结果与讨论第33-48页
  §3.3.1 组分分析第33-37页
  §3.3.2 X射线衍射分析第37-41页
  §3.3.3 微结构—透射电镜分析第41-42页
  §3.3.4 光电特性分析第42-48页
 §3.4 小结第48页
 参考文献第48-50页
第四章 结论第50-52页
今后工作设想第52-53页
致谢第53-54页
攻读硕士学位期间发表文章目录第54页

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