| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-13页 |
| 1 绪论 | 第13-30页 |
| ·引言 | 第13-14页 |
| ·铀及其合金表面抗腐蚀保护概述 | 第14-18页 |
| ·环境气氛的改善 | 第14页 |
| ·保护性氧化膜 | 第14-15页 |
| ·有机膜 | 第15页 |
| ·电镀涂层 | 第15-16页 |
| ·表面合金化 | 第16页 |
| ·离子注入 | 第16-17页 |
| ·化学气象沉积(CVD) | 第17页 |
| ·物理气相沉积(PVD) | 第17-18页 |
| ·铀材料腐蚀的工程问题及本论文采用的研究方法 | 第18-19页 |
| ·微波ECR等离子体增强溅射沉积技术 | 第19-23页 |
| ·微波ECR等离子体原理和实验系统 | 第20-22页 |
| ·微波ECR等离子体增强沉积 | 第22-23页 |
| ·电弧离子镀 | 第23-25页 |
| ·基体材料和镀层材料的选择 | 第25-26页 |
| ·基体材料选择 | 第25页 |
| ·镀层材料的选择 | 第25-26页 |
| ·镀膜工艺参数的选择 | 第26-28页 |
| ·研究目标和内容 | 第28-30页 |
| ·研究目标 | 第28页 |
| ·研究内容 | 第28-30页 |
| 2 实验方法 | 第30-39页 |
| ·实验设备简介 | 第30-32页 |
| ·多功能PSⅡ系统简介 | 第30-31页 |
| ·多弧离子镀设备简介 | 第31-32页 |
| ·试验方法 | 第32-36页 |
| ·基体温度测定 | 第32-33页 |
| ·薄膜均匀测定 | 第33页 |
| ·残余气体测定 | 第33-34页 |
| ·等离子体性能测试 | 第34-36页 |
| ·朗缪尔探针的工作原理 | 第34-35页 |
| ·单探针I-V特性曲线获取等离子体参数 | 第35-36页 |
| ·本系统等离子体特性诊断 | 第36页 |
| ·膜结构及物理性能测试 | 第36-37页 |
| ·薄膜抗腐蚀性能测试 | 第37-38页 |
| ·湿热腐蚀实验 | 第37页 |
| ·KCl溶液浸泡腐蚀实验 | 第37-38页 |
| ·电化学实验 | 第38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 3 微波-ECR等离子体增强沉积ZrN和TiN薄膜 | 第39-62页 |
| ·样品制备 | 第39-40页 |
| ·N_2分压对薄膜结构的影响 | 第40-45页 |
| ·ZrN薄膜XRD分析 | 第40-42页 |
| ·TiN薄膜XRD分析 | 第42-45页 |
| ·偏压对薄膜结构的影响 | 第45-48页 |
| ·ZrN薄膜XRD分析 | 第45-47页 |
| ·TiN薄膜XRD分析 | 第47-48页 |
| ·TEM分析 | 第48-51页 |
| ·N2分压对薄膜表面及界面成分分布的影响 | 第51-52页 |
| ·表面AFM形貌 | 第52-53页 |
| ·硬度及摩擦磨损 | 第53-55页 |
| ·电化学分析结果 | 第55-59页 |
| ·N2分压对电化学性能的影响 | 第55-57页 |
| ·偏压对电化学性能的影响 | 第57-59页 |
| ·半球件样品ZrN和TiN薄膜制备 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 4 铀表面多弧离子镀薄膜结构及性能表征 | 第62-96页 |
| ·实验 | 第63-64页 |
| ·XRD分析 | 第64-67页 |
| ·表面及界面分析 | 第67-70页 |
| ·AES深度剖析 | 第70页 |
| ·薄膜厚度测定 | 第70-72页 |
| ·硬度及摩擦磨损 | 第72-74页 |
| ·膜基结合力 | 第74-75页 |
| ·镀层抗腐蚀性能 | 第75-85页 |
| ·湿热腐蚀结果 | 第75-77页 |
| ·KCl溶液腐蚀结果 | 第77-78页 |
| ·薄膜的电化学特性 | 第78-85页 |
| ·线性极化曲线 | 第78-81页 |
| ·动电位极化曲线 | 第81-83页 |
| ·交流阻抗谱 | 第83-85页 |
| ·镀层腐蚀机理研究 | 第85-94页 |
| ·湿热腐蚀机理研究 | 第86-87页 |
| ·KCl溶液腐蚀机理研究 | 第87-91页 |
| ·电化学腐蚀机理研究 | 第91-94页 |
| ·镀层交流阻抗谱的物理模型 | 第94-95页 |
| ·本章小结 | 第95-96页 |
| 5 电弧离子镀工艺的几点关键工程问题 | 第96-111页 |
| ·电弧等离子体探针测试 | 第96-98页 |
| ·薄膜均匀测定 | 第98-101页 |
| ·偏压对薄膜沉积速率的影响 | 第101-103页 |
| ·残余气体测定 | 第103-105页 |
| ·薄膜界面分析 | 第105-107页 |
| ·温度的测定和部件的变形量 | 第107-110页 |
| ·本章小结 | 第110-111页 |
| 6 U部件表面抗腐薄膜制备及解剖分析 | 第111-116页 |
| ·管形和半球形部件薄膜制备 | 第111页 |
| ·3~#部件解剖分析 | 第111-114页 |
| ·湿热腐蚀考核 | 第114-115页 |
| ·本章小结 | 第115-116页 |
| 结论 | 第116-118页 |
| 参考文献 | 第118-129页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第129-130页 |
| 创新点摘要 | 第130-131页 |
| 致谢 | 第131-132页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第132页 |