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压电薄膜特性参数测量研究

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
1 绪论第8-18页
 1.1 课题来源及意义第8页
 1.2 压电式力学传感器研究现状第8-15页
  1.2.1 压电材料的发展第8-9页
  1.2.2 PZT薄膜制备方法简介第9-10页
  1.2.3 压电式力学传感器第10-15页
 1.3 压电系数和电滞回线测量研究概况第15-16页
 1.4 本文的主要工作第16-18页
2 压电系数及电滞回线测量方法阐述第18-37页
 2.1 压电学基础理论第18-20页
  2.1.1 压电效应与逆压电效应第18-19页
  2.1.2 压电方程第19-20页
  2.1.3 纵向压电系数第20页
 2.2 压电系数测量方法概论第20-27页
  2.2.1 直接测量法第20-25页
  2.2.2 间接测量第25-27页
 2.3 电滞回线基础理论第27-32页
  2.3.1 电滞回线畴理论分析第27-28页
  2.3.2 电滞回线的数学推导第28-29页
  2.3.3 电滞回线等效电路分析第29-32页
 2.4 电滞回线的测量技术第32-37页
  2.4.1 冲击检流计法第32-34页
  2.4.2 Sawyer-Tower电路法第34-35页
  2.4.3 Sawyer-Tower电路电荷采集改进第35-37页
3 压电系数测量及结果分析第37-46页
 3.1 压电系数测量原理第37-38页
 3.2 压电系数测量方案及仪器介绍第38-41页
  3.2.1 压电系数测量方案第38-39页
  3.2.2 实验使用仪器介绍第39-41页
 3.3 测量过程及结果分析第41-45页
  3.3.1 试验步骤第41-42页
  3.3.2 测量结果分析第42-45页
 3.4 本章小结第45-46页
4 电滞回线测量系统设计第46-65页
 4.1 电滞回线测量系统概叙第46-47页
 4.2 系统硬件电路设计第47-53页
  4.2.1 系统电源模块设计第47-50页
  4.2.2 高压运算放大器模块第50-51页
  4.2.3 电荷采集模块第51-53页
 4.3 系统软件设计第53-56页
  4.3.1 虚拟仪器技术简介第53-54页
  4.3.2 控制软件设计第54-56页
 4.4 软件补偿算法设计第56-63页
  4.4.1 软件补偿原理第56-60页
  4.4.2 补偿结果第60-62页
  4.4.3 补偿算法比较第62-63页
 4.5 操作过程及注意事项第63-65页
5 电滞回线测量结果分析第65-70页
 5.1 测量数据及分析第65-67页
 5.2 缺陷影响一材料自身的不完美性第67-70页
结论第70-71页
参考文献第71-74页
附录A CSPM控制软件界面图第74-75页
附录B 数据处理Matlab程序第75-77页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第77-78页
致谢第78-79页
大连理工大学学位论文版权使用授权书第79页

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