| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-12页 |
| ·湿度传感器的研究意义 | 第9-10页 |
| ·本论文的主要工作 | 第10-12页 |
| 第二章 湿度传感器的概述及分类 | 第12-22页 |
| ·传感器的定义 | 第12页 |
| ·传感器系统实现的途径 | 第12-14页 |
| ·非集成化实现 | 第12-13页 |
| ·集成化实现 | 第13页 |
| ·混合实现 | 第13-14页 |
| ·湿度传感器的概述 | 第14-17页 |
| ·湿度传感器的应用领域 | 第15-16页 |
| ·湿度的单位和表示方法 | 第16-17页 |
| ·湿度传感器的分类 | 第17-21页 |
| ·电容型 | 第17-19页 |
| ·电阻型 | 第19-20页 |
| ·离子敏型 | 第20-21页 |
| ·总结 | 第21-22页 |
| 第三章 CMOS兼容电容型湿度传感器的理论模型 | 第22-32页 |
| ·电容型湿度传感器物理结构与模型 | 第22-23页 |
| ·理论推导与计算 | 第23-26页 |
| ·仿真结果 | 第26-30页 |
| ·总结 | 第30-32页 |
| 第四章 CMOS兼容电容型湿度传感器的测量电路分析和仿真 | 第32-57页 |
| ·电容型湿度传感器的模型 | 第32-33页 |
| ·电容型湿度传感器测量电路的分析和推导 | 第33-35页 |
| ·简单测量电路的分析和推导 | 第33-34页 |
| ·带开关的测量电路的分析和推导 | 第34页 |
| ·精确测量电路的分析和推导 | 第34-35页 |
| ·运算放大器电路的理论分析 | 第35-47页 |
| ·CMOS单级放大器 | 第35-38页 |
| ·采用电阻负载的共源级放大 | 第35-37页 |
| ·有源负载的共源级放大器 | 第37-38页 |
| ·CMOS差动放大器 | 第38-40页 |
| ·采用电阻负载的差动放大器 | 第38-39页 |
| ·有源负载的差动放大器 | 第39-40页 |
| ·电流镜的影响与改善 | 第40-42页 |
| ·基本电流镜 | 第40-41页 |
| ·共源共栅电流镜 | 第41-42页 |
| ·MOS开关 | 第42-44页 |
| ·MOS开关 | 第42-43页 |
| ·MOS开关对电路的影响以及改善 | 第43-44页 |
| ·噪声 | 第44-45页 |
| ·相位裕度 | 第45-46页 |
| ·频率补偿 | 第46-47页 |
| ·两级运算放大器电路的推导 | 第47-50页 |
| ·开环增益 | 第47-49页 |
| ·频率与相位补偿 | 第49页 |
| ·输入噪声 | 第49-50页 |
| ·利用Cadence公司的工具和华润上华0.6um的库对电路的模拟与仿真 | 第50-56页 |
| ·对两级运放进行仿真 | 第50-51页 |
| ·简单测量电路的仿真 | 第51-52页 |
| ·带开关的测量电路的仿真 | 第52-54页 |
| ·精确测量电路的仿真 | 第54-56页 |
| ·总结 | 第56-57页 |
| 第五章 CMOS兼容电容型湿度传感器的版图 | 第57-60页 |
| ·版图设计 | 第57-59页 |
| ·版图设计的规则，主要有以下几个方面 | 第57-58页 |
| ·电容的版图 | 第58页 |
| ·CMOS兼容电容型湿度传感器的版图设计 | 第58-59页 |
| ·后加工工艺 | 第59页 |
| ·总结 | 第59-60页 |
| 第六章 结束语 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 附录 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第68页 |