智能四探针电阻率测试仪研究及开发
| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 插图索引 | 第9-11页 |
| 附表索引 | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-20页 |
| 1．1 课题背景 | 第12-13页 |
| 1．2 国外研究的最新进展 | 第13-16页 |
| 1．3 国内研究的现况 | 第16-17页 |
| 1．4 论文研究的主要内容与创新点 | 第17-20页 |
| 第二章 四探针测试仪的工作原理 | 第20-35页 |
| 2．1 半导体材料与电阻率概述 | 第20-28页 |
| 2．1．1 测量电阻率的基本方法 | 第20-24页 |
| 2．1．2 直流四探针电阻率测量的基本原理 | 第24-28页 |
| 2．2 四探针电阻率的准测条件分析 | 第28-31页 |
| 2．3 测试工艺分析 | 第31-35页 |
| 第三章 系统工程硬件设计 | 第35-52页 |
| 3．1 “嵌入式”系统发展的背景 | 第35-38页 |
| 3．2 总体设计 | 第38-42页 |
| 3．2．1 硬件模块划分与工作流程 | 第39-40页 |
| 3．2．2 放大电路方案比较 | 第40-41页 |
| 3．2．3 放大电路方案论证 | 第41-42页 |
| 3．3 控制逻辑、显示器与A/D转换电路设计 | 第42-44页 |
| 3．4 恒流源电路设计 | 第44-48页 |
| 3．4．1 恒流源电路方案一与仿真 | 第44-45页 |
| 3．4．2 恒流源电路方案二与仿真 | 第45-48页 |
| 3．5 电源电路设计 | 第48-52页 |
| 3．5．1 电源电路设计 | 第49页 |
| 3．5．2 电源电路图仿真 | 第49-52页 |
| 第四章 系统软件设计与实际测试结果 | 第52-63页 |
| 4．1 软件开发环境介绍 | 第52-54页 |
| 4．2 显示器驱动程序设计 | 第54-56页 |
| 4．2．1 显示器驱动程序总体描述 | 第54-55页 |
| 4．2．2 显示器驱动程序主要函数设计 | 第55-56页 |
| 4．2．3 电压采样与恒流源电路控制程序设计 | 第56页 |
| 4．3 数字补偿算法与可靠性 | 第56-59页 |
| 4．3．1 数字补偿算法设计 | 第56-59页 |
| 4．3．2 可靠性设计 | 第59页 |
| 4．4 按键设置和上位机软件设计 | 第59-60页 |
| 4．5 四探针测试仪的研制与测试报告 | 第60-61页 |
| 4．5．1 电流源测试 | 第60-61页 |
| 4．5．2 金属电阻测试 | 第61页 |
| 4．5．3 硅片电阻率测试 | 第61页 |
| 4．6 主要技术指标 | 第61-62页 |
| 4．7 使用说明和应用前景 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 附录A 攻读学位期间所发表的论文目录 | 第68-69页 |
| 附录B | 第69-70页 |
| 附录C 测试仪电气及 PCB板图 | 第70-72页 |
| 附录D 实物图 | 第72页 |
