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曲面基底衍射光学元件加工工艺研究

摘要第1-6页
Abstract第6-9页
第一章 引言第9-21页
   ·衍射光学发展的概况第9-10页
   ·衍射元件的制作技术第10-18页
   ·衍射光学的发展前景第18-21页
第二章 衍射光学元件的衍射效率分析第21-34页
   ·菲涅耳波带(FZP)透镜的标量衍射理论第21-25页
   ·菲涅耳透镜的设计方法第25-26页
   ·存在误差时候的衍射效率第26-30页
   ·其它第30-31页
   ·轴外点衍射效率的分析第31-34页
第三章 折衍混合光学系统的加工第34-51页
   ·对准问题第34-41页
   ·刻蚀工艺的研究第41-45页
   ·加工片刻蚀的结果第45-46页
   ·我们制作的衍射光学元件,用于形敏感器中的光学系统第46-51页
第四章 结论第51-52页
参考文献第52-56页
论文发表情况第56-57页
致谢第57-58页
作者简介第58-60页

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