| 第一章 文献综述 | 第1-21页 |
| 1．1 绪言 | 第8页 |
| 1．2 ITO薄膜的应用领域及发展现状 | 第8-10页 |
| 1．2．1 液晶显示器 | 第8-9页 |
| 1．2．2 太阳能电池 | 第9-10页 |
| 1．3 ITO薄膜的制备方法 | 第10-13页 |
| 1．3．1 PVD沉积法 | 第10-11页 |
| 1．3．2 CVD沉积法 | 第11页 |
| 1．3．3 喷雾热分解法 | 第11-12页 |
| 1．3．4 溶胶-凝胶(Sol-Gel)法 | 第12-13页 |
| 1．3．4．1 Sol-Gel法的制备工艺 | 第13页 |
| 1．3．4．2 Sol-Gel法的优点 | 第13页 |
| 1．4 IT0薄膜的结构及理论 | 第13-17页 |
| 1．4．1 ITO薄膜的半导化 | 第14-15页 |
| 1．4．2 ITO薄膜的可见光透过率机理 | 第15-17页 |
| 1．4．3 ITO薄膜的表面能 | 第17页 |
| 1．5 IT0薄膜的微细加工技术 | 第17-20页 |
| 1．5．1 光刻加工 | 第18页 |
| 1．5．2 电子束加工 | 第18-19页 |
| 1．5．3 离子束加工 | 第19页 |
| 1．5．4 激光束加工 | 第19-20页 |
| 1．6 选题角度的确定 | 第20-21页 |
| 1．6．1 实验内容 | 第20页 |
| 1．6．2 课题创新点 | 第20-21页 |
| 第二章 溶胶-凝胶法制备ITO薄膜的实验方案及溶胶配制 | 第21-40页 |
| 2．1 前期实验介绍 | 第21页 |
| 2．2 实验方案的制定 | 第21-22页 |
| 2．2．1 铟醇盐为前驱物 | 第22页 |
| 2．2．2 无机盐为前驱物 | 第22页 |
| 2．3 整体实验方案设计 | 第22-23页 |
| 2．4 实验设备和测试仪器 | 第23-28页 |
| 2．4．1 薄膜制备设备 | 第23-24页 |
| 2．4．2 ITO溶胶及凝胶膜的分析 | 第24-25页 |
| 2．4．3 ITO薄膜的性能分析 | 第25-26页 |
| 2．4．4 ITO薄膜的表面成分及结构分析 | 第26-28页 |
| 2．5 醇钠法制备过程 | 第28-34页 |
| 2．5．1 醇钠法的主要原料 | 第28-29页 |
| 2．5．2 醇钠法中ITO溶胶配制 | 第29-30页 |
| 2．5．3 醇钠法中溶剂的选取 | 第30-31页 |
| 2．5．4 醇钠法中清洗基板及制备衬底 | 第31页 |
| 2．5．5 醇钠法中In(OR)_3溶胶的制备及红外分析 | 第31-33页 |
| 2．5．6 醉钠法中Sn~(4+)离子掺杂对溶胶的影响 | 第33-34页 |
| 2．6 无机盐法制备过程 | 第34-39页 |
| 2．6．1 无机盐法的主要原料 | 第34页 |
| 2．6．2 无机盐法中 ITO溶胶制备及红外分析 | 第34-36页 |
| 2．6．3 无机盐法中Sn~(4+)离子掺杂对溶胶的影响 | 第36-37页 |
| 2．6．4 无机盐法中水对ITO溶胶稳定性的影响 | 第37-39页 |
| 2．7 小结 | 第39-40页 |
| 第三章 ITO薄膜性能测试及比较 | 第40-54页 |
| 3．1 醇钠法制备的ITO薄膜性能 | 第40-46页 |
| 3．1．1 醇钠法制备的IT0薄膜的电阻率 | 第40-41页 |
| 3．1．2 醇钠法制备的IT0薄膜可见光透过率 | 第41-42页 |
| 3．1．3 醇钠法制备的ITO薄膜的表面能 | 第42-46页 |
| 3．2 无机盐法制备的TIO薄膜性能 | 第46-52页 |
| 3．2．1 无机盐法制备的ITO薄膜的电阻率 | 第46-48页 |
| 3．2．2 无机盐法制备的ITO薄膜可见光透过率 | 第48-49页 |
| 3．2．3 无机盐法制备ITO薄膜的表面能 | 第49-52页 |
| 3．3 小结 | 第52-54页 |
| 3．3．1 电阻率 | 第52页 |
| 3．3．2 可见光透过率 | 第52-53页 |
| 3．3．3 表面能 | 第53-54页 |
| 第四章 ITO薄膜微细图形加工工艺 | 第54-64页 |
| 4．1 化学修饰剂法 | 第54-55页 |
| 4．2 ITO凝胶薄膜的分析(无机盐法) | 第55-56页 |
| 4．2．1 ITO凝胶膜光谱分析 | 第55-56页 |
| 4．3 IT0凝胶膜对紫外光的感光特性分析 | 第56-58页 |
| 4．3．1 紫外-可见吸收光谱的分析 | 第56-57页 |
| 4．3．2 红外吸收光谱的分析 | 第57-58页 |
| 4．4 ITO凝胶薄膜的热稳定性 | 第58-59页 |
| 4．5 微细加工工艺 | 第59-60页 |
| 4．5．1 光照参数的选择 | 第59-60页 |
| 4．5．2 溶洗剂的选择 | 第60页 |
| 4．6 ITO凝胶膜的微细图形 | 第60-62页 |
| 4．7 热处理后的微细图形及膜厚变化 | 第62-63页 |
| 4．8 小结 | 第63-64页 |
| 第五章 分析与讨论 | 第64-73页 |
| 5．1 无机盐法制备的薄膜表面分析 | 第64-72页 |
| 5．1．1 X射线衍射分析 | 第64-65页 |
| 5．1．2 X射线光电子能谱(XPS)分析 | 第65-69页 |
| 5．1．3 原子力显微镜分析 | 第69-72页 |
| 5．2 小结 | 第72-73页 |
| 第六章 结论 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-81页 |
| 附录 | 第81页 |
