硅电容式加速度传感器及其读出电路设计研究
| 第一章 引言 | 第1-12页 |
| ·概述 | 第8-9页 |
| ·国内外发展动态 | 第9-11页 |
| ·本论文研究是主要内容 | 第11-12页 |
| 第二章 敏感单元的设计 | 第12-20页 |
| ·概述 | 第12页 |
| ·机械设计和分析 | 第12-16页 |
| ·弹性的设计 | 第13-14页 |
| ·阻尼机制和品质因子 | 第14-16页 |
| ·电子设计 | 第16-18页 |
| ·静电力 | 第16-17页 |
| ·梳状电容的弹性刚度 | 第17-18页 |
| ·开环加速度传感器模型 | 第18-20页 |
| 第三章 加速度传感器 ANSYS 仿真结果与分析 | 第20-37页 |
| ·基本参数的初步设计 | 第20-22页 |
| ·机械稳定性分析 | 第20-22页 |
| ·基本参数的初步设计 | 第22页 |
| ·有限元分析的基础理论 | 第22-27页 |
| ·结构静力分析的有限元基础理论 | 第22-26页 |
| ·模态分析的有限元基础理论 | 第26-27页 |
| ·谐响应分析的有限元基础理论 | 第27页 |
| ·ANSYS 仿真和结果分析 | 第27-35页 |
| ·静力分析 | 第28-32页 |
| ·模态分析 | 第32-33页 |
| ·谐响应分析 | 第33-35页 |
| ·小结 | 第35-37页 |
| 第四章 电容传感器接口电路的设计 | 第37-55页 |
| ·电路的工作原理 | 第37-40页 |
| ·工作原理 | 第37-38页 |
| ·系统噪声分析 | 第38-40页 |
| ·电路的设计 | 第40-53页 |
| ·开关电容技术 | 第40-44页 |
| ·二相非交叠时钟电路设计 | 第44-45页 |
| ·低通滤波器 | 第45-47页 |
| ·运算放大器设计 | 第47-53页 |
| ·版图设计 | 第53-55页 |
| 第五章 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 附录一 MEMS 中常用材料的参数 | 第59-60页 |
| 附录二 2um 工艺版图设计规则 | 第60-62页 |
