低驱动电压的RF MEMS开关的设计与模拟

第一章 绪论	第1-10页
·研究背景	第6-7页
·国内外研究状况	第7-8页
·本文的主要内容	第8-10页
第二章 RF MEMS开关的工作原理	第10-14页
·RF MEMS开关的驱动电压和弹性系数	第10-11页
·梁上的静电力和弹性恢复力	第11-14页
第三章 低驱动电压的电阻式MEMS开关的设计	第14-35页
·两端固定梁的弹性系数	第14-21页
·由材料特性引起的弹性系数	第14-17页
·由残余应力引起的弹性系数	第17-21页
·静电力与驱动电压	第21-24页
·电阻式RF MEMS开关的模拟	第24-35页
·开关的结构	第24-25页
·模拟的过程	第25-26页
·非线性解	第26-27页
·设计低驱动电压的电阻式开关	第27-35页
·驱动电压对开关变形的影响	第27-29页
·电极间距对开关变形的影响	第29-35页
第四章 低驱动电压的电容式MEMS开关的设计	第35-47页
·两端固定的悬梁开关的力学模型	第35-37页
·不同结构开关的刚度系数与驱动电压的计算	第37-40页
·电容式开关的静电耦合模拟与模态分析	第40-47页
第五章 RF MEMS开关空气阻力的估算	第47-54页
·气体运动基本规律	第47-48页
·梁的阻尼系数与品质因子	第48-50页
·梁的非线性动力学分析与开关的时间	第50-51页
·空气阻力的估算	第51-54页
结论	第54-55页
参考文献	第55-58页
致谢	第58-59页
个人简历、在学其间的研究成果及发表的学术论文	第59页