| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·集成光学 | 第7-8页 |
| ·光波导 | 第8-10页 |
| ·近场光学显微镜及其应用 | 第10-12页 |
| ·本文的主要内容 | 第12-13页 |
| 第二章 SNOM关键技术研究 | 第13-36页 |
| ·SNOM的基本原理 | 第13-14页 |
| ·SNOM的仪器结构 | 第14-16页 |
| ·光纤探针的变温腐蚀制备法实验研究 | 第16-27页 |
| ·实验装置 | 第16-17页 |
| ·实验结果与讨论 | 第17-21页 |
| ·光纤探针腐蚀过程的理论模拟 | 第21-27页 |
| ·探针-样品间距的控制 | 第27-36页 |
| ·超声共振法 | 第27-31页 |
| ·双压电晶片法 | 第31-36页 |
| 第三章 光波导近场光学检测法研究 | 第36-44页 |
| ·适于光波导检测的大范围SNOM | 第36-38页 |
| ·实验结果 | 第38-39页 |
| ·光波导的理论模拟 | 第39-44页 |
| ·FD-BPM理论模型 | 第39-41页 |
| ·条型波导的模拟分析 | 第41-44页 |
| 第四章 结论与展望 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |
| 附录A 硕士期间发表的论文 | 第49-50页 |
| 附录B 超声法分时驱动-检测电路图 | 第50页 |