| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-8页 |
| 1 引言 | 第8-19页 |
| ·电弧离子镀 | 第9-11页 |
| ·电弧离子镀的研究进展 | 第11-15页 |
| ·尘埃等离子体的研究进展 | 第15-16页 |
| ·本文的研究思路和内容 | 第16-19页 |
| 2 脉冲偏压电弧离子镀的大颗粒净化的物理模型 | 第19-22页 |
| 3 脉冲偏压鞘层的物理特性 | 第22-30页 |
| ·实验介绍 | 第22-23页 |
| ·鞘层特性 | 第23-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 4 电弧离子镀中大颗粒的充电、受力和运动 | 第30-40页 |
| ·大颗粒充电 | 第30-33页 |
| ·大颗粒的受力分析 | 第33-37页 |
| ·大颗粒在鞘层中的运动 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 5 实验检测与分析 | 第40-54页 |
| ·实验设计 | 第41页 |
| ·样品制备 | 第41-42页 |
| ·薄膜制备 | 第42-43页 |
| ·薄膜表面形貌观察与分析 | 第43-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 6 应用净化模型优化工艺合成纳米多层薄膜 | 第54-58页 |
| 7 结论与展望 | 第58-60页 |
| 硕士期间发表论文 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 致谢 | 第65-68页 |