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高质量、大直径磷化铟单晶研究

第一章 绪论第1-14页
 1 、 磷化铟的基本属性第7-14页
   ·磷化铟300K的基本特性第7-8页
   ·磷化铟的物理特性第8-9页
   ·磷化铟的光学特性第9-14页
   1 、 论文开展的来源、目的、意义第9-10页
   2 、 论文开展的思路、方法、措施第10-11页
   3 、半导体缺陷和几种实验研究方法第11-14页
第二章 磷化铟材料合成技术简介第14-19页
 1 、 背景技术简介第14页
 2 、 磷化铟合成技术第14-19页
   ·两步法第14-17页
     ·水平布里奇曼技术 (HB)第15-16页
     ·溶质扩散合成技术 (SSD)第16-17页
   ·一步法第17-19页
     ·原位磷注入合成法第17-18页
     ·磷液封法第18-19页
第三章 快速大容量磷注入合成磷化铟材料第19-23页
 1 、 磷注入合成磷化铟材料原理第19-20页
 2 、 实验第20页
 3 、 结果与讨论第20-22页
 4 、 结论第22-23页
第四章 磷化铟单晶生长技术简介及发展第23-34页
 1 、 磷化铟材料研究简介第23-27页
 2 、 我国磷化铟单晶生长技术简介第27-29页
 3 、 磷化铟单晶材料制备的新进展第29-30页
 4 、 未来磷化铟单晶生长的发展第30-34页
第五章 高质量、大直径磷化铟单晶生长技术第34-43页
 1 、 引言第34-35页
 2 、 实验和方法第35页
 3 、 降低磷化铟晶体的位错密度第35-38页
 4 、 减少磷化铟晶体的孪晶第38-43页
第六章 磷化铟单晶材料的性质研究第43-50页
 1 、 半绝缘磷化铟形成机理的新进展第43-45页
 2 、 利用正电子湮没技术研究半绝缘磷化铟的性质第45-50页
第七章 结论第50-51页
参考文献第51-54页
发表论文和参加科研情况及获奖情况第54-59页
致谢第59页

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