| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-5页 |
| 目录 | 第5-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-25页 |
| ·加速度传感器工作原理 | 第8-10页 |
| ·MEMS加速度传感器的优点 | 第10-11页 |
| 1 MEMS加速度传感器具有较高的灵敏度系数 | 第10页 |
| 2 MEMS加速度传感器使得器件的阻尼特征得到更好地控制 | 第10-11页 |
| 3 MEMS传感器具有较小的尺寸和较宽的带宽 | 第11页 |
| 4 硅集成电路和微机械加工技术的发展可以实现MEMS加速度传感器的系统级集成化和智能化 | 第11页 |
| ·国内外MEMS加速度传感器的发展 | 第11-19页 |
| 1 压电式加速度传感器 | 第11-12页 |
| 2 声表面波加速度传感器 | 第12页 |
| 3 隧穿式加速度传感器 | 第12-13页 |
| 4 电容式加速度传感器 | 第13-15页 |
| 5 压阻式加速度传感器 | 第15-19页 |
| ·MEMS加速度传感器设计规则的变化 | 第19-21页 |
| 1 在进行MEMS加速度传感器设计时，不仅仅要考虑结构的力学特性，更要考虑它的工艺可实现性以及封装的可操作性。 | 第20页 |
| 2 尺寸效应和表面效应给加速度传感器的设计带来了新的问题 | 第20页 |
| 3 器件的多能域耦合问题 | 第20-21页 |
| 4 器件检测规则的变化。 | 第21页 |
| ·本章小结 | 第21页 |
| 参考文献 | 第21-25页 |
| 第二章 压阻式冲击加速度传感器的设计 | 第25-40页 |
| ·压阻式加速度传感器设计考虑 | 第25-29页 |
| 1 阻尼对器件动态特性的影响 | 第25-26页 |
| 2 MEMS加速度传感器中常用的阻尼模型 | 第26-28页 |
| 3 器件固有频率对动态性能的影响 | 第28-29页 |
| ·双质量块结构加速度传感器的设计 | 第29-37页 |
| 1 双质量块结构加速度传感器的灵敏度分析 | 第30-32页 |
| 2 频率计算 | 第32-34页 |
| 3 加速度传感器的阻尼设计 | 第34-36页 |
| 4 芯片结构的优化设计及尺寸的确定 | 第36-37页 |
| 5 ANSYS模拟 | 第37页 |
| ·加速度传感器量程的扩展 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 参考文献 | 第39-40页 |
| 第三章 加速度传感器的工艺研究 | 第40-48页 |
| ·传感器基本工艺参数和工艺流程的确定 | 第40-41页 |
| 1 工艺参数的选择 | 第40-41页 |
| 2 工艺流程的确定 | 第41页 |
| ·加速度传感器芯片的制作工艺 | 第41-44页 |
| ·工艺中的监控和测量 | 第44-45页 |
| 1 扩散的检测 | 第44页 |
| 2 阻尼间隙的控制 | 第44页 |
| 3 DRIE工艺的监测 | 第44-45页 |
| ·工艺中需要注意的问题 | 第45页 |
| ·静电键合玻璃的选择 | 第45-46页 |
| ·DRIE工艺对电阻性能的影响 | 第46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-48页 |
| 第四章 加速度传感器的封装与静态测试 | 第48-60页 |
| ·封装中需要注意的问题 | 第48-50页 |
| 1 封装胶和封装胶厚度的选择 | 第48-49页 |
| 2 玻璃对封装的影响 | 第49页 |
| 3 封装管壳的考虑 | 第49-50页 |
| ·加速度传感器静态测试 | 第50-53页 |
| 1 静态灵敏度测试 | 第50-51页 |
| 2 稳定性测试--零位失调，时漂和温漂 | 第51-52页 |
| 3 稳定性测试-温漂测试 | 第52-53页 |
| ·封装应力对器件稳定性的影响 | 第53-56页 |
| ·半导体温度系数对器件稳定性的影响 | 第56-58页 |
| ·传感器温度补偿问题 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59页 |
| 参考文献 | 第59-60页 |
| 第五章 加速度传感器的动态测试 | 第60-77页 |
| ·加速度传感器频响的测定 | 第60-61页 |
| ·加速度传感器的冲击特性测试-自由落杆实验 | 第61-63页 |
| ·安装问题的提出 | 第63-66页 |
| ·安装问题的讨论 | 第66-72页 |
| 1 应力波的传播(讨论而已) | 第67-69页 |
| 2 振动力学分析 | 第69-72页 |
| ·加速度传感器固有频率的测量 | 第72-73页 |
| ·加速度传感器的失效分析 | 第73-75页 |
| ·小结 | 第75页 |
| 参考文献 | 第75-77页 |
| 第六章 整个硕士论文工作总结 | 第77-80页 |
| ·微机械压阻式振动加速度传感器工作总结 | 第77页 |
| ·微机械压阻式振动加速度传感器的研制体会 | 第77-78页 |
| ·硕士期间的其他工作 | 第78-80页 |
| 附录 受迫阻尼振动相对振幅-频率特性数据表 | 第80-81页 |
| 作者简介 | 第81页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及专利 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
