硅微振动陀螺制造误差电补偿方法研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| ·硅微振动陀螺仪基本概念 | 第8-10页 |
| ·硅微振动陀螺仪的应用和前景 | 第10-11页 |
| ·硅微振动陀螺仪国内外研究现状 | 第11-14页 |
| ·硅微振动陀螺仪加工误差补偿的研究现状 | 第14-16页 |
| ·本文的研究内容 | 第16-17页 |
| 2 硅微振动陀螺仪基础 | 第17-35页 |
| ·工作原理 | 第17-18页 |
| ·动力学分析 | 第18-21页 |
| ·硅微振动陀螺的动力学 | 第19-20页 |
| ·陀螺的简化模型 | 第20-21页 |
| ·静电驱动机理 | 第21-24页 |
| ·驱动检测机理 | 第24-25页 |
| ·敏感检测机理 | 第25-27页 |
| ·参数分析 | 第27-31页 |
| ·模态频率与机械灵敏度的关系 | 第27-28页 |
| ·模态频率对带宽的影响 | 第28-31页 |
| ·制造工艺 | 第31-34页 |
| ·表面硅加工 | 第32页 |
| ·LIGA | 第32页 |
| ·体硅加工 | 第32-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 3 硅微振动陀螺误差分析 | 第35-50页 |
| ·原理误差 | 第35-36页 |
| ·加工误差 | 第36-47页 |
| ·机械耦合误差 | 第36-43页 |
| ·模态误差 | 第43-47页 |
| ·布朗噪声 | 第47-48页 |
| ·温度误差 | 第48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 4 正交耦合误差补偿技术 | 第50-61页 |
| ·直流偏置法 | 第51-54页 |
| ·电流补偿法 | 第54-55页 |
| ·同步解调法 | 第55-60页 |
| ·相关检测技术 | 第56-57页 |
| ·同步相干检测-锁定放大器 | 第57-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 5 模态误差补偿技术 | 第61-66页 |
| ·基本理论 | 第61-62页 |
| ·梳齿式定齿偏置结构 | 第62-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 6 实验 | 第66-80页 |
| ·总体方案 | 第66-67页 |
| ·电路组成 | 第67-73页 |
| ·信号发生器 | 第67页 |
| ·前置放大器 | 第67-68页 |
| ·带通滤波器 | 第68-70页 |
| ·乘法器 | 第70-71页 |
| ·移相器 | 第71-72页 |
| ·低通滤波器 | 第72-73页 |
| ·实验结果 | 第73-76页 |
| ·实验设备和环境 | 第73-74页 |
| ·正交耦合误差补偿实验结果 | 第74-76页 |
| ·模态误差补偿实验结果 | 第76页 |
| ·硅微振动陀螺仪性能试验 | 第76-79页 |
| ·标度因数 | 第76-78页 |
| ·标度因数非线性 | 第78-79页 |
| ·零偏稳定性 | 第79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 7 总结与展望 | 第80-82页 |
| ·总结 | 第80-81页 |
| ·展望 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 参考文献 | 第83-85页 |
