| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 HIT 太阳能电池概述 | 第8-17页 |
| ·引言 | 第8-10页 |
| ·HIT 太阳能电池的特点 | 第10-11页 |
| ·HIT 太阳能电池的发展状况 | 第11-16页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第16-17页 |
| 2 HIT 太阳能电池的基本理论 | 第17-33页 |
| ·HIT 太阳能电池的工作原理 | 第17页 |
| ·HIT 太阳能电池的异质结理论 | 第17-20页 |
| ·HIT 太阳能电池主要性能指标及其影响因素 | 第20-23页 |
| ·HIT 太阳能电池非晶硅层的基本理论 | 第23-33页 |
| 3 HIT 太阳能电池非晶硅层制备工艺的研究 | 第33-47页 |
| ·HIT 太阳能电池对非晶硅层的要求 | 第33-34页 |
| ·样品制备 | 第34-37页 |
| ·结果和讨论 | 第37-45页 |
| ·非晶硅层制备工艺的优化 | 第45-47页 |
| 4 HIT 太阳能电池非晶硅/单晶硅异质结界面钝化工艺研究 | 第47-51页 |
| ·异质结界面钝化工艺概述 | 第47-48页 |
| ·异质结界面钝化工艺流程 | 第48-49页 |
| ·界面钝化结果和讨论 | 第49-50页 |
| ·界面钝化工艺小结 | 第50-51页 |
| 5 HIT 太阳能电池单晶硅衬底表面腐蚀工艺的研究 | 第51-60页 |
| ·单晶硅衬底表面腐蚀工艺概述 | 第51-53页 |
| ·单晶硅衬底表面腐蚀实验 | 第53-55页 |
| ·实验结果和讨论 | 第55-58页 |
| ·单晶硅衬底表面腐蚀工艺的优化 | 第58-60页 |
| 6 总结 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-69页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第69-70页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间获得的奖项 | 第70-71页 |
| 附录3 攻读硕士学位期间申请的专利 | 第71页 |