| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 文献综述 | 第7-19页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·光波导的概述 | 第7-11页 |
| ·光波导传输原理及其分类 | 第7-10页 |
| ·光波导的发展与应用 | 第10-11页 |
| ·光波导材料的发展 | 第11-16页 |
| ·无机光波导材料及器件的发展 | 第11-12页 |
| ·有机聚合物光波导材料的发展与制备技术 | 第12-15页 |
| ·有机无机复合光波导材料的发展与制备方法 | 第15-16页 |
| ·小结 | 第16页 |
| ·影响光波导材料的因素 | 第16-17页 |
| ·论文的研究目的和意义 | 第17页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第17-18页 |
| ·本课题的创新点 | 第18-19页 |
| 2 实验方法及设备介绍 | 第19-23页 |
| ·实验技术路线 | 第19-20页 |
| ·实验设备与测试仪器 | 第20-21页 |
| ·溶胶及薄膜的制备设备 | 第20页 |
| ·性能测试设备 | 第20页 |
| ·微细图形制备设备 | 第20-21页 |
| ·实验所需的主要试剂 | 第21-23页 |
| 3 PMMA薄膜的制备及相关测试 | 第23-33页 |
| ·PMMA溶液与薄膜的制备 | 第23页 |
| ·PMMA薄膜的相关测试 | 第23-29页 |
| ·膜厚及粗糙度测试 | 第23-26页 |
| ·红外光谱分析 | 第26页 |
| ·透过率分析和折射率的计算 | 第26-29页 |
| ·改性PMMA的研究 | 第29-31页 |
| ·改性PMMA溶液的配制和薄膜制备 | 第29-30页 |
| ·改性PMMA薄膜的透过率测试和折射率计算 | 第30-31页 |
| ·小结 | 第31-33页 |
| 4 有机无机复合SiO_2/ZrO_2薄膜的制备及性能研究 | 第33-45页 |
| ·溶胶的选择 | 第33-37页 |
| ·三种不同溶胶与薄膜的制备 | 第33-34页 |
| ·三种溶胶凝胶膜的紫外吸收峰和透过率的测试 | 第34-36页 |
| ·热处理对三种凝胶膜的影响 | 第36-37页 |
| ·SiO_2/ZrO_2凝胶膜感光性能研究 | 第37-39页 |
| ·SiO_2/ZrO_2凝胶膜紫外和红外光谱分析 | 第37-38页 |
| ·热处理对SiO_2/ZrO_2凝胶膜感光性的影响 | 第38-39页 |
| ·KH-570对SiO_2/ZrO_2凝胶膜的作用分析 | 第39页 |
| ·紫外光照和热处理对SiO_2/ZrO_2凝胶膜透过率和折射率的影响 | 第39-41页 |
| ·紫外光照和热处理对SiO_2/ZrO_2凝胶膜的透过率分析 | 第39-40页 |
| ·SiO_2/ZrO_2凝胶膜的折射率分析 | 第40-41页 |
| ·SiO_2/ZrO_2凝胶膜的微细图形加工 | 第41-43页 |
| ·小结 | 第43-45页 |
| 5 条形复合光波导的制备与通光理论分析 | 第45-51页 |
| ·条形复合光波导的制备 | 第45-47页 |
| ·通光理论分析 | 第47-49页 |
| ·小结 | 第49-51页 |
| 6 结论 | 第51-53页 |
| 致谢 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-61页 |
| 作者在硕士期间撰写和发表的论文 | 第61页 |
