| 中文摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-20页 |
| ·课题研究的目的及意义 | 第9-10页 |
| ·原子力显微镜基本原理与成像模式 | 第10-11页 |
| ·原子力显微镜扫描速度基本概念 | 第11-13页 |
| ·原子力显微镜快速扫描技术研究现状 | 第13-18页 |
| ·采用积分式激励的探针以提高谐振频率 | 第13-14页 |
| ·采用ZnO薄膜激励和动态Q控制提高成像速度 | 第14-15页 |
| ·xy向扫描与z向扫描分开 | 第15-17页 |
| ·采用基于模型的控制方式 | 第17-18页 |
| ·本课题的主要工作 | 第18-20页 |
| 第二章 轻敲模式下影响AFM扫描速度的主要因素及其机理分析 | 第20-28页 |
| ·影响 AFM 扫描速度的主要因素 | 第20-22页 |
| ·下降沿扫描速度分析 | 第22-24页 |
| ·上升沿扫描速度分析 | 第24-26页 |
| ·反馈系统带宽 | 第26页 |
| ·误差信号饱和 | 第26-27页 |
| ·方均根振幅至电压信号(rms-to-dc)转换器 | 第27页 |
| ·AFM参数设置对扫描速度的影响 | 第27-28页 |
| 第三章 反馈系统对 AFM 扫描速度的影响 | 第28-43页 |
| ·反馈系统概述 | 第28-34页 |
| ·典型反馈系统 | 第28-29页 |
| ·反馈控制原理 | 第29-31页 |
| ·原子力显微镜PID控制器 | 第31-34页 |
| ·模拟PID控制器 | 第31-32页 |
| ·数字PID控制算法 | 第32-34页 |
| ·原子力显微镜反馈系统工作原理 | 第34-35页 |
| ·原子力显微镜反馈控制对扫描速度的影响 | 第35-39页 |
| ·探针带宽分析 | 第36-37页 |
| ·反馈驱动带宽分析 | 第37-39页 |
| ·以提高反馈带宽为目的的反馈系统 | 第39-43页 |
| ·设定值前馈校正系统设计 | 第40-41页 |
| ·双自由度(2DOF)控制器设计 | 第41-43页 |
| 第四章 探针谐振频率对扫描速度的影响实验 | 第43-48页 |
| ·实验仪器及样品 | 第43-44页 |
| ·实验设计及结果分析 | 第44-48页 |
| 第五章 AFM参数设置对扫描速度的影响实验 | 第48-57页 |
| ·实验仪器及样品 | 第48-49页 |
| ·实验过程 | 第49-55页 |
| ·扫描频率的影响 | 第49-52页 |
| ·设定值(Setpoint)的影响 | 第52-53页 |
| ·积分增益和比例增益的影响 | 第53-55页 |
| ·实验结果分析 | 第55-57页 |
| 第六章 总结与展望 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 参加科研情况说明 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64页 |