高频率脉冲固体激光深雕刻技术研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
第1章 绪论	第8-12页
·引言	第8页
·应用背景	第8-10页
·激光深雕刻的发展现状	第10页
·本论文研究内容	第10-12页
第2章 激光雕刻机理分析	第12-19页
·脉冲激光深雕刻机理	第12-15页
·激光与金属材料作用一般规律	第12-13页
·激光深雕刻与打孔、切割的区别	第13-14页
·ms级激光加工的特点	第14-15页
·激光深宽雕刻技术的特点	第15-18页
·过烧问题	第17页
·雕刻速度的控制	第17-18页
·喷嘴的影响	第18页
·离焦量的影响	第18页
·本章小结	第18-19页
第3章 激光雕刻高频脉冲激光器及外光路	第19-35页
·高频脉冲固体激光器的研制	第19-30页
·基本腔型介绍	第19页
·光学谐振腔理论分析计算	第19-22页
·激光器的热效应分析	第22-25页
·最佳透过率的选择	第25-29页
·高频脉冲激光电源	第29-30页
·外光路系统介绍和聚焦特性计算	第30-34页
·扩束输出减小聚焦光斑大小	第31-33页
·光束质量对激光光束聚焦的影响	第33-34页
·本章小结	第34-35页
第4章 雕刻工艺试验研究	第35-44页
·雕刻试验装置	第35-37页
·激光器及其结构	第35-36页
·外光路及系统实物	第36-37页
·雕刻参数分析	第37-43页
·距离对雕刻效果的影响	第37-38页
·氧气压力对雕刻效果的影响	第38-39页
·脉宽对雕刻效果的影响	第39-40页
·频率对雕刻效果的影响	第40-41页
·功率对雕刻效果的影响	第41-43页
·本章小结	第43-44页
总结	第44-46页
参考文献	第46-48页
攻读学位期间发表的论文和专利	第48-49页
致谢	第49页