计算机仿真及其在半导体后端制造中的应用
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-10页 |
| ·论文研究背景与意义 | 第7-8页 |
| ·论文研究内容 | 第8页 |
| ·论文组织结构 | 第8-10页 |
| 第二章 计算机仿真概述 | 第10-21页 |
| ·系统模型及仿真的必要性 | 第10-13页 |
| ·计算机仿真的类型划分 | 第13-14页 |
| ·仿真软件的选择与仿真原理 | 第14-19页 |
| ·蒙特卡罗仿真 | 第19-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第三章 计算机仿真建模与仿真软件 | 第21-32页 |
| ·计算机仿真建模的过程分析 | 第21-25页 |
| ·计算机对系统动态行为的摸拟 | 第25-27页 |
| ·计算机仿真软件 | 第27-30页 |
| ·计算机仿真建模的主要阶段 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第四章 半导体后端制造中的仿真应用 | 第32-60页 |
| ·仿真在工艺流程设计中的应用 | 第32-43页 |
| ·装配生产中的配量与匹配模型 | 第32-34页 |
| ·半导体封装前道工艺流程 | 第34-36页 |
| ·仿真建模中主要模块的定义 | 第36-39页 |
| ·计算机仿真模型的运行 | 第39-40页 |
| ·利用拆分模块对仿真模型进行修改 | 第40-43页 |
| ·仿真在产品流动控制中的应用 | 第43-49页 |
| ·生产过程中的控制逻辑 | 第43-44页 |
| ·利用计算机仿真模拟生产控制逻辑 | 第44-47页 |
| ·拉动生产模型的仿真实现 | 第47-49页 |
| ·仿真在设备效率控制中的应用 | 第49-53页 |
| ·设备计划性失效仿真建模 | 第49-51页 |
| ·设备非计划性失效仿真建模 | 第51-53页 |
| ·仿真在人机配比设定中的应用 | 第53-59页 |
| ·人机比关系中的时间定义 | 第53-54页 |
| ·人机比仿真建模 | 第54-58页 |
| ·仿真场景的运用 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 计算机仿真模型验证 | 第60-64页 |
| ·仿真模型的功能性测试 | 第60-61页 |
| ·仿真模型的可信度评估 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第六章 结束语 | 第64-66页 |
| ·本文主要工作总结 | 第64页 |
| ·半导体后端制造仿真应用的进一步研究方向 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-68页 |
| 攻读硕士学位期间参加的科研项目和公开发表的论文 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 详细摘要 | 第70-72页 |
