光学薄膜光学特性检测中若干关键问题的研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 目录 | 第10-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-38页 |
| ·薄膜技术的应用和发展 | 第13页 |
| ·光学薄膜光学特性检测技术 | 第13-31页 |
| ·光学薄膜光学特性检测技术所要解决的问题 | 第14页 |
| ·光学薄膜光度特性及检测系统 | 第14-24页 |
| ·光学薄膜光学常数的反演方法 | 第24-27页 |
| ·光学薄膜位相特性及检测方法 | 第27-31页 |
| ·本论文的主要研究内容和创新点 | 第31-33页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第31-32页 |
| ·创新点 | 第32-33页 |
| 参考文献 | 第33-38页 |
| 第二章 光学薄膜光度特性检测的研究 | 第38-69页 |
| ·系统设计 | 第38-49页 |
| ·总体设计 | 第38-39页 |
| ·关键器件的设计与选择 | 第39-43页 |
| ·控制系统设计 | 第43-45页 |
| ·上位机软件设计 | 第45-49页 |
| ·系统关键功能的实现 | 第49-60页 |
| ·倾斜光入射测量 | 第49-51页 |
| ·多角度反射率测量 | 第51-53页 |
| ·偏振测试及自动校准 | 第53-55页 |
| ·温度漂移特性测量 | 第55-57页 |
| ·高精度数据采集系统 | 第57-60页 |
| ·误差及精度分析 | 第60-66页 |
| ·系统误差及解决方法 | 第60-63页 |
| ·系统精度分析 | 第63-66页 |
| ·小结 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-69页 |
| 第三章 光学薄膜光学常数反演的研究 | 第69-102页 |
| ·反演光学薄膜光学常数的理论基础 | 第69-73页 |
| ·光学薄膜传输特性矩阵 | 第69-70页 |
| ·光学薄膜的色散模型 | 第70-73页 |
| ·光学薄膜光学常数的确定 | 第73-80页 |
| ·透明薄膜光学常数的反演 | 第73-75页 |
| ·弱吸收薄膜光学常数的反演 | 第75-80页 |
| ·使用光谱拟合法确定薄膜的光学常数 | 第80-90页 |
| ·程序总体框架 | 第80-82页 |
| ·基于单纯形优化的光谱拟合法 | 第82-84页 |
| ·基于模拟退火优化的光谱拟合法 | 第84-87页 |
| ·基于遗传算法优化的光谱拟合法 | 第87-90页 |
| ·实验结果及误差分析 | 第90-99页 |
| ·待测薄膜样品的制备 | 第90-91页 |
| ·实验结果与分析 | 第91-96页 |
| ·光谱测试数据的误差对光学常数反演结果的影响 | 第96-99页 |
| ·小结 | 第99页 |
| 参考文献 | 第99-102页 |
| 第四章 光学薄膜位相特性检测的研究 | 第102-135页 |
| ·光学薄膜位相检测理论 | 第102-108页 |
| ·位相调制薄膜应用的概述 | 第102-103页 |
| ·基于白光干涉的位相检测理论 | 第103-106页 |
| ·光学薄膜的位相特性 | 第106-108页 |
| ·使用光谱型白光干涉系统测量薄膜位相的实现方案 | 第108-120页 |
| ·光谱型白光干涉系统 | 第108-110页 |
| ·基于傅立叶变换和频域滤波的位相算法 | 第110-113页 |
| ·基于干涉强度拟合的位相算法 | 第113-114页 |
| ·基于干涉条纹包络线的位相算法 | 第114-115页 |
| ·基于局部节点拟合的位相算法 | 第115-117页 |
| ·基于小波变换和时频分析的位相算法 | 第117-120页 |
| ·实验装置及测试结果分析 | 第120-131页 |
| ·测试系统的搭建 | 第120-122页 |
| ·位相测试的结果及分析 | 第122-125页 |
| ·群延迟测试的结果及分析 | 第125-128页 |
| ·测试误差分析 | 第128-131页 |
| ·小结 | 第131页 |
| 参考文献 | 第131-135页 |
| 第五章 总结与展望 | 第135-137页 |
| 攻读博士学位期间发表文章目录 | 第137页 |
