| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-20页 |
| ·课题背景 | 第7-9页 |
| ·碳纳米管传感器国内外研究状况 | 第9-15页 |
| ·国外研究现状 | 第9-13页 |
| ·国内研究现状 | 第13-15页 |
| ·碳纳米管的制备及优化 | 第15-17页 |
| ·碳纳米管的制备 | 第15-16页 |
| ·碳纳米管的优化 | 第16-17页 |
| ·碳纳米管的应用 | 第17-18页 |
| ·本课题研究的意义和内容 | 第18-20页 |
| 第2章 碳纳米管湿度检测原理分析 | 第20-26页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·多壁碳纳米管的吸附原理 | 第20-24页 |
| ·多壁碳纳米管的孔隙结构 | 第20-21页 |
| ·碳纳米管的比表面积 | 第21-22页 |
| ·毛细凝聚现象 | 第22-24页 |
| ·电容式碳纳米管湿度传感器检测原理 | 第24-25页 |
| ·平板电容式传感器检测原理 | 第24-25页 |
| ·叉指电容式传感器检测原理 | 第25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 电容式碳纳米管湿敏传感器结构及制作 | 第26-34页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·传感器结构设计 | 第26-28页 |
| ·平行板电容式碳纳米管湿敏传感器结构设计 | 第26-27页 |
| ·叉指电容式碳纳米管湿敏传感器结构设计 | 第27-28页 |
| ·碳纳米管传感器制作过程 | 第28-33页 |
| ·丝网印刷工艺优化 | 第29页 |
| ·浆料配比 | 第29-30页 |
| ·丝网印刷工艺流程 | 第30-32页 |
| ·传感器制作过程 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第4章 电容式碳纳米管湿敏传感器湿度检测 | 第34-52页 |
| ·传感器测试 | 第34-36页 |
| ·实验仪器 | 第34页 |
| ·测试装置 | 第34-36页 |
| ·平行板电容式传感器结果分析与讨论 | 第36-41页 |
| ·检测电路 | 第36-37页 |
| ·传感器对相对湿度的灵敏度 | 第37-38页 |
| ·CNTs传感器与对比传感器及不同极板间距传感器的测试 | 第38-40页 |
| ·传感器响应恢复特性与重复性 | 第40-41页 |
| ·叉指电容式传感器MWNTs薄膜电容检测与结果分析 | 第41-47页 |
| ·检测过程 | 第41-42页 |
| ·测试结果分析与讨论 | 第42-47页 |
| ·基于 555 多谐振荡电路的传感器的测试与结果分析 | 第47-51页 |
| ·555 多谐振荡检测电路 | 第48-49页 |
| ·检测过程 | 第49-50页 |
| ·测试结果分析与讨论 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 结论 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-59页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
