Sigma-delta电容式微加速度传感器系统研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| ·研究背景 | 第9-10页 |
| ·国内外相关研究进展 | 第10-12页 |
| ·论文意义与主要内容 | 第12-13页 |
| 第二章 SIGMA-DELTA ADC调制器 | 第13-25页 |
| ·Sigma-Delta调制 | 第13-18页 |
| ·sigma-delta调制原理 | 第13-14页 |
| ·过采样 | 第14-15页 |
| ·噪声整形 | 第15-17页 |
| ·sigma-delta调制器分类 | 第17-18页 |
| ·sigma-delta调制器系统结构 | 第18-21页 |
| ·一阶sigma-delta调制器 | 第18-19页 |
| ·二阶sigma-delta调制器 | 第19-21页 |
| ·sigma-delta ADC电学特性 | 第21-23页 |
| ·小结 | 第23-25页 |
| 第三章 电容式微加速度传感器工作原理 | 第25-35页 |
| ·微机械结构分类 | 第25-27页 |
| ·电容式微机械结构 | 第27-31页 |
| ·电容式微机械结构动力学分析 | 第27-28页 |
| ·电容式微机械结构工作原理 | 第28-29页 |
| ·电容式微机械结构性能参数 | 第29-30页 |
| ·电容式微机械结构电学模型 | 第30-31页 |
| ·闭环微加速度传感器 | 第31-34页 |
| ·闭环测量原理 | 第32-33页 |
| ·闭环传感器的传递函数 | 第33-34页 |
| ·小结 | 第34-35页 |
| 第四章 传感器系统建模与仿真 | 第35-55页 |
| ·sigma-delta电容式微加速度传感器模型 | 第35-37页 |
| ·理想系统仿真模型 | 第37-41页 |
| ·系统仿真模型概述 | 第37页 |
| ·sigma-delta调制器模型 | 第37-39页 |
| ·机械结构的传递函数 | 第39页 |
| ·系统模型输出 | 第39-41页 |
| ·系统级非理想因素建模与仿真 | 第41-48页 |
| ·时钟抖动 | 第41-42页 |
| ·采样开关热噪声 | 第42-43页 |
| ·运算放大器的噪声 | 第43-44页 |
| ·运算放大器有限增益与饱和电压 | 第44-45页 |
| ·运算放大器压摆率和带宽 | 第45-46页 |
| ·积分器的非理想特性 | 第46-47页 |
| ·比较器的非理想特性 | 第47-48页 |
| ·非理想状态下系统建模 | 第48-52页 |
| ·小结 | 第52-55页 |
| 第五章 SIGMA-DELTA调制器电路设计 | 第55-67页 |
| ·总体电路结构 | 第55页 |
| ·积分器设计 | 第55-62页 |
| ·积分器结构设计 | 第55-57页 |
| ·运算放大器设计 | 第57-60页 |
| ·开关设计 | 第60-61页 |
| ·电容设计 | 第61-62页 |
| ·非重叠时钟设计 | 第62页 |
| ·比较器设计 | 第62-64页 |
| ·系统仿真结果 | 第64-65页 |
| ·小结 | 第65-67页 |
| 第六章 结束语 | 第67-69页 |
| ·结论 | 第67页 |
| ·下一步工作建议 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-73页 |
