| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-21页 |
| ·课题背景 | 第9-10页 |
| ·蓝宝石晶体的应用 | 第10-12页 |
| ·窗口材料 | 第10页 |
| ·医学方面应用 | 第10-11页 |
| ·微电子衬底基片 | 第11页 |
| ·其它用途 | 第11-12页 |
| ·晶体生长形态及生长机制 | 第12-17页 |
| ·自由生长晶体形态 | 第12-14页 |
| ·强制生长晶体外形 | 第14-15页 |
| ·晶体生长机制 | 第15-17页 |
| ·晶体生长微观形态与生长机制间关系 | 第17-19页 |
| ·本文主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第2章 晶体生长实验及分析测试方法 | 第21-28页 |
| ·蓝宝石晶体生长 | 第21-24页 |
| ·蓝宝石晶体生长装置 | 第21-22页 |
| ·蓝宝石晶体生长原料 | 第22-23页 |
| ·蓝宝石晶体生长工艺设计 | 第23-24页 |
| ·晶体宏观形貌测量及实验样品选取 | 第24-25页 |
| ·微观组织分析 | 第25-28页 |
| ·光学显微镜分析 | 第25页 |
| ·激光共聚焦显微镜分析 | 第25-26页 |
| ·轮廓仪分析 | 第26-27页 |
| ·扫描电子显微镜分析 | 第27-28页 |
| 第3章 SAMPAC 法晶体生长宏观形态及演变规律 | 第28-39页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·工艺参数对宏观外形的影响 | 第28-31页 |
| ·晶体生长几何模型及形态演变理论分析 | 第31-37页 |
| ·晶体生长形态演化几何模型与宏观形态演变 | 第31-33页 |
| ·工艺参数对宏观外形影响的理论分析 | 第33-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第4章 生长界面微观形貌及生长机制 | 第39-57页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·蓝宝石生长界面微观形貌 | 第39-46页 |
| ·台阶尺寸演变规律 | 第46-52页 |
| ·微观形貌形成及生长机制 | 第52-55页 |
| ·微观形貌形成机理 | 第52-54页 |
| ·生长机制 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |