摘要 | 第1-5页 |
ABSTRACT | 第5-9页 |
第1章 绪论 | 第9-21页 |
·课题背景 | 第9-10页 |
·蓝宝石晶体的应用 | 第10-12页 |
·窗口材料 | 第10页 |
·医学方面应用 | 第10-11页 |
·微电子衬底基片 | 第11页 |
·其它用途 | 第11-12页 |
·晶体生长形态及生长机制 | 第12-17页 |
·自由生长晶体形态 | 第12-14页 |
·强制生长晶体外形 | 第14-15页 |
·晶体生长机制 | 第15-17页 |
·晶体生长微观形态与生长机制间关系 | 第17-19页 |
·本文主要研究内容 | 第19-21页 |
第2章 晶体生长实验及分析测试方法 | 第21-28页 |
·蓝宝石晶体生长 | 第21-24页 |
·蓝宝石晶体生长装置 | 第21-22页 |
·蓝宝石晶体生长原料 | 第22-23页 |
·蓝宝石晶体生长工艺设计 | 第23-24页 |
·晶体宏观形貌测量及实验样品选取 | 第24-25页 |
·微观组织分析 | 第25-28页 |
·光学显微镜分析 | 第25页 |
·激光共聚焦显微镜分析 | 第25-26页 |
·轮廓仪分析 | 第26-27页 |
·扫描电子显微镜分析 | 第27-28页 |
第3章 SAMPAC 法晶体生长宏观形态及演变规律 | 第28-39页 |
·引言 | 第28页 |
·工艺参数对宏观外形的影响 | 第28-31页 |
·晶体生长几何模型及形态演变理论分析 | 第31-37页 |
·晶体生长形态演化几何模型与宏观形态演变 | 第31-33页 |
·工艺参数对宏观外形影响的理论分析 | 第33-37页 |
·本章小结 | 第37-39页 |
第4章 生长界面微观形貌及生长机制 | 第39-57页 |
·引言 | 第39页 |
·蓝宝石生长界面微观形貌 | 第39-46页 |
·台阶尺寸演变规律 | 第46-52页 |
·微观形貌形成及生长机制 | 第52-55页 |
·微观形貌形成机理 | 第52-54页 |
·生长机制 | 第54-55页 |
·本章小结 | 第55-57页 |
结论 | 第57-58页 |
参考文献 | 第58-62页 |
致谢 | 第62-63页 |