| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| ·晶圆清洗机驱动电机及其控制器发展现状 | 第9-11页 |
| ·晶圆清洗机驱动电机发展现状 | 第9-10页 |
| ·晶圆清洗机驱动电机控制器发展现状 | 第10-11页 |
| ·无刷电机控制技术发展综述 | 第11-15页 |
| ·转矩脉动的抑制 | 第11-12页 |
| ·无位置传感器的转子位置检测 | 第12-13页 |
| ·弱磁调速 | 第13-14页 |
| ·控制算法 | 第14-15页 |
| ·晶圆清洗机对无刷电机控制器的要求 | 第15页 |
| ·课题来源、研究内容和论文安排 | 第15-17页 |
| ·课题来源 | 第15-16页 |
| ·研究内容 | 第16页 |
| ·论文安排 | 第16-17页 |
| 第2章 晶圆清洗机无刷电机本体研究 | 第17-33页 |
| ·磁钢宽度的选择与分析 | 第17-23页 |
| ·磁钢宽度与气隙磁密波形的关系 | 第17-21页 |
| ·磁钢宽度与绕组反电动势波形之间的关系 | 第21-23页 |
| ·无位置传感器检测位置方法 | 第23-28页 |
| ·电感法的基本原理 | 第23-25页 |
| ·一相通电转子磁极极性的辨识 | 第25-26页 |
| ·二相通电转子磁极极性的辨识 | 第26-27页 |
| ·6极/9槽无刷电机分析举例 | 第27-28页 |
| ·晶圆清洗机无刷电机的设计与试制 | 第28-32页 |
| ·磁场有限元分析 | 第28-29页 |
| ·集中绕组 | 第29-31页 |
| ·组合定子铁心工艺 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 晶圆清洗机无刷电机控制器的硬件设计 | 第33-46页 |
| ·晶圆清洗机无刷电机控制器构成 | 第33-34页 |
| ·DSP(TMS320LF2407A)芯片及其外围电路设计 | 第34-37页 |
| ·TMS320LF2407A外设及其技术特性 | 第34-35页 |
| ·DSP缓冲驱动电路 | 第35-37页 |
| ·IPM模块及电路设计 | 第37-41页 |
| ·IPM驱动电路 | 第38页 |
| ·IPM集成驱动电路自举电路 | 第38-39页 |
| ·IPM过流保护电路 | 第39-41页 |
| ·电流采样电路设计 | 第41-42页 |
| ·位置和速度信号检测电路部分 | 第42-43页 |
| ·转速、时间、启停控制和方向给定电路部分 | 第43-44页 |
| ·晶圆清洗机无刷直流电机的硬件制作 | 第44-45页 |
| ·本章小节 | 第45-46页 |
| 第4章 晶圆清洗机无刷电机控制策略及软件设计 | 第46-72页 |
| ·晶圆清洗机无刷电机控制策略研究 | 第46-50页 |
| ·无刷电机调速控制策略 | 第46-50页 |
| ·晶圆清洗机无刷电机控制策略的软件实现 | 第50-58页 |
| ·程序的整体结构 | 第50-51页 |
| ·软件各模块的设计 | 第51-58页 |
| ·晶圆清洗机无刷电机控制策略的仿真实验研究 | 第58-66页 |
| ·晶圆清洗机无刷电机控制策略的仿真模型的建立 | 第58-62页 |
| ·晶圆清洗机无刷电机控制策略的仿真结果与分析 | 第62-66页 |
| ·晶圆清洗机无刷电机控制策略的现场调试及实验 | 第66-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第5章 晶圆清洗机无刷电机转矩脉动研究 | 第72-90页 |
| ·无刷直流电动机转矩脉动及抑制方法分析 | 第72-73页 |
| ·电磁因素引起的转矩脉动及抑制方法 | 第72页 |
| ·齿槽引起的转矩脉动及抑制方法 | 第72页 |
| ·电枢反应引起的转矩脉动及抑制方法 | 第72-73页 |
| ·机械加工引起的转矩脉动及抑制方法 | 第73页 |
| ·电流换相引起的转矩脉动及抑制方法 | 第73页 |
| ·无刷直流电动机的数学模型及换相转矩脉动分析 | 第73-81页 |
| ·无刷直流电动机的数学模型 | 第73-76页 |
| ·电流换相引起的转矩脉动分析 | 第76-81页 |
| ·晶圆清洗机转矩脉动抑制策略及实验结果分析 | 第81-89页 |
| ·低速阶段的转矩脉动抑制策略及实验结果 | 第81-85页 |
| ·中高速阶段的转矩脉动抑制策略及实验结果 | 第85-89页 |
| ·本章小结 | 第89-90页 |
| 第6章 全文总结 | 第90-91页 |
| 参考文献 | 第91-96页 |
| 致谢 | 第96-97页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文和参加的科研项目 | 第97页 |