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基于彩色光谱共焦的轮廓及厚度精确测量

摘要第5-7页
ABSTRACT第7-8页
第1章 绪论第12-20页
    1.1 轮廓尺寸精确测量技术的研究背景和意义第12-13页
    1.2 轮廓尺寸精确测量技术的研究现状第13-16页
    1.3 轮廓尺寸精确测量技术的现状与发展趋势第16-17页
    1.4 本文主要研究内容第17-20页
第2章 彩色光谱共焦测量原理与测量系统第20-32页
    2.1 光谱共焦测量原理第20-21页
    2.2 色散透镜组与Z坐标测量第21-23页
    2.3 测量范围第23-24页
    2.4 分辨力第24-29页
        2.4.1 共焦显微镜的轴向分辨率第24-25页
        2.4.2 彩色光谱共焦系统的轴向分辨能力第25-29页
    2.5 被测物允许的最大倾斜角度第29-30页
    2.6 本章小结第30-32页
第3章 三维轮廓数据的滤波处理第32-50页
    3.1 轮廓测量数据集的滤波处理第32-34页
    3.2 已有平滑滤波算法第34-39页
        3.2.1 均值滤波第34-35页
        3.2.2 中值滤波第35页
        3.2.3 高斯滤波第35-37页
        3.2.4 双边滤波器第37页
        3.2.5 传统双边滤波器的原理及公式第37-39页
    3.3 双边滤波的不足第39-40页
    3.4 自适应双边滤波器的算法设计与参数设置第40-45页
        3.4.1 建立当前数据集的k邻域第40-41页
        3.4.2 法向量的估算第41-42页
        3.4.3 滤波参考平面第42-44页
        3.4.4 点云双边滤波参数设置第44页
        3.4.5 空间方差σ的参数选择第44页
        3.4.6 强度方差σ的自适应取值第44-45页
    3.5 基于双边滤波计算结果的强噪声滤除算法设计第45-47页
    3.6 本文算法的实现过程第47-49页
    3.7 本章小结第49-50页
第4章 数据可视化第50-64页
    4.1 PCL点云处理库第50页
    4.2 PCL的应用——逆向数据工程、智能制造/辅助设计第50-51页
    4.3 PCL的结构和内容第51-52页
    4.4 利用PCL中 KD-TREE模块建立点云数据集的KD树结构第52-54页
    4.5 贪婪三角投影网格化算法第54-57页
        4.5.1 算法存在的优点与缺点第57页
    4.6 点云平滑、重采样第57-60页
        4.6.1 拟合函数的建立第58-59页
        4.6.2 权值函数的确定第59-60页
    4.7 移动最小二乘拟合流程第60-61页
    4.8 测量数据重采样与孔洞修补第61-62页
    4.9 本章小结第62-64页
第5章 测量系统实验与结果分析第64-74页
    5.1 彩色光谱共焦测量系统的硬件第64-67页
        5.1.1 彩色光谱共焦探测器第64-65页
        5.1.2 精密三轴位移平台的硬件第65-67页
    5.2 彩色光谱共焦测量实验第67-69页
        5.2.1 钨合金标准量块的表面三维测量第67-69页
    5.3 非透明材料与透明材料的轮廓精确测量第69-72页
        5.3.1 透明材料的轮廓精确测量第69-71页
        5.3.2 非透明材料的轮廓精确测量第71-72页
    5.4 本章小结第72-74页
第6章 总结与展望第74-76页
    6.1 工作总结第74-75页
    6.2 展望第75-76页
参考文献第76-82页
攻读硕士期间发表的论文第82-84页
附录第84-88页
致谢第88页

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