| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3页 |
| 1 绪论 | 第7-14页 |
| 1.1 前言 | 第7-8页 |
| 1.2 金属氧化物气敏材料 | 第8-11页 |
| 1.2.1 金属氧化物材料的气敏机理 | 第8-9页 |
| 1.2.2 金属氧化物材料的改性方法 | 第9-11页 |
| 1.3 等离子体技术 | 第11-13页 |
| 1.3.1 等离子体技术简介 | 第11页 |
| 1.3.2 等离子体表面改性原理 | 第11-12页 |
| 1.3.3 国内外应用等离子体技术改性气敏材料现状 | 第12-13页 |
| 1.4 本论文主要内容及研究意义 | 第13-14页 |
| 2 实验仪器设备介绍 | 第14-18页 |
| 2.1 等离子体处理装置介绍 | 第14-15页 |
| 2.2 静电纺丝装置介绍 | 第15-16页 |
| 2.3 气敏元件的制备及气体测试系统介绍 | 第16-18页 |
| 2.3.1 气敏元件的制备 | 第16页 |
| 2.3.2 静态配气测试系统 | 第16-18页 |
| 3 ZnO纳米纤维的制备、等离子体处理及其表征与气敏特性 | 第18-29页 |
| 3.1 ZnO纳米纤维的制备及等离子体处理 | 第18-19页 |
| 3.1.1 静电纺丝法制备ZnO纳米纤维材料 | 第18-19页 |
| 3.1.2 氧、氢等离子体处理ZnO纳米纤维材料 | 第19页 |
| 3.2 等离子体处理前后ZnO纳米纤维的表征 | 第19-25页 |
| 3.3 等离子体处理前后ZnO纳米纤维材料的气敏特性 | 第25-27页 |
| 3.4 本章小结 | 第27-29页 |
| 4 In_2O_3纳米纤维的制备、等离子体处理及其表征与气敏特性 | 第29-38页 |
| 4.1 In_2O_3纳米纤维的制备及等离子体处理 | 第29页 |
| 4.1.1 静电纺丝法制备In_2O_3纳米纤维材料 | 第29页 |
| 4.1.2 氧、氢等离子体处理In_2O_3纳米纤维材料 | 第29页 |
| 4.2 等离子体处理前后In_2O_3纳米纤维的表征 | 第29-34页 |
| 4.3 等离子体处理前后In_2O_3纳米纤维材料的气敏特性 | 第34-36页 |
| 4.4 本章小结 | 第36-38页 |
| 5 NiO纳米纤维的制备、等离子体处理及其表征与气敏特性 | 第38-46页 |
| 5.1 NiO纳米纤维的制备及等离子体处理 | 第38页 |
| 5.1.1 静电纺丝法制备NiO纳米纤维材料 | 第38页 |
| 5.1.2 氧、氢等离子体处理NiO纳米纤维材料 | 第38页 |
| 5.2 等离子体处理前后NiO纳米纤维的表征 | 第38-42页 |
| 5.3 等离子体处理前后NiO纳米纤维材料的气敏特性 | 第42-44页 |
| 5.4 本章小结 | 第44-46页 |
| 6 机理分析 | 第46-54页 |
| 6.1 等离子体处理对材料晶粒尺寸的调控作用 | 第46-48页 |
| 6.1.1 n型与p型金属氧化物材料的气敏机理对比 | 第46-47页 |
| 6.1.2 氧、氢等离子体对材料晶粒尺寸的影响 | 第47-48页 |
| 6.2 等离子体处理对材料表面吸附氧含量的影响 | 第48-53页 |
| 6.2.1 等离子体处理前后表面形貌与微结构的变化 | 第48-50页 |
| 6.2.2 等离子体处理对材料氧成分的影响 | 第50-53页 |
| 6.3 本章小结 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-65页 |
