| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-16页 |
| 1.2.1 透明材料厚度检测的国内外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 共焦检测技术的国内外研究现状 | 第13-16页 |
| 1.3 本论文的研究内容及结构安排 | 第16-18页 |
| 第二章 镀膜透镜测厚系统的总体方案 | 第18-28页 |
| 2.1 镀膜透镜中心厚度测量方法的选取 | 第18-24页 |
| 2.1.1 超声波测厚法 | 第18-19页 |
| 2.1.2 平板电容检测法 | 第19页 |
| 2.1.3 激光三角法 | 第19-21页 |
| 2.1.4 激光扫描法 | 第21-22页 |
| 2.1.5 光学干涉法 | 第22-23页 |
| 2.1.6 光学共焦法 | 第23-24页 |
| 2.2 镀膜透镜中心厚度的测量原理分析 | 第24-25页 |
| 2.3 系统的总体结构与分析 | 第25-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 镀膜透镜测厚装置的光学系统设计 | 第28-46页 |
| 3.1 光源的选取分析 | 第28-32页 |
| 3.1.1 光能量和光能量的稳定性 | 第28页 |
| 3.1.2 工作光谱范围以及分布 | 第28-32页 |
| 3.1.3 光源的选取 | 第32页 |
| 3.2 光谱仪选取分析 | 第32-35页 |
| 3.2.1 光谱仪的结构 | 第32-33页 |
| 3.2.2 光谱仪的基本特性 | 第33-34页 |
| 3.2.3 光谱仪的选取 | 第34-35页 |
| 3.3 共焦光学系统的优化设计 | 第35-45页 |
| 3.3.1 ZEMAX软件相关功能的介绍 | 第35-36页 |
| 3.3.2 共焦光学系统相关参数的确定 | 第36-39页 |
| 3.3.3 共焦光学系统的设计及优化 | 第39-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 镀膜透镜中心厚度模型的建立 | 第46-59页 |
| 4.1 数学软件相关功能的介绍 | 第46页 |
| 4.2 影响镀膜透镜中心厚度检测的因素分析 | 第46-56页 |
| 4.2.1 返回的双峰波长值与镀膜透镜中心厚度的关系 | 第47-50页 |
| 4.2.2 镀膜透镜的曲率半径与中心厚度的关系 | 第50-53页 |
| 4.2.3 镀膜透镜的折射率与中心厚度的关系 | 第53-56页 |
| 4.3 镀膜透镜中心厚度数学模型的建立 | 第56-58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 实验结果及误差分析 | 第59-73页 |
| 5.1 实验结果 | 第59-62页 |
| 5.2 误差分析 | 第62-72页 |
| 5.3 本章小结 | 第72-73页 |
| 第六章 工作总结与展望 | 第73-75页 |
| 6.1 工作总结 | 第73页 |
| 6.2 工作展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文及其他科研成果 | 第80页 |