原子力显微镜探针形貌标定方法研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第7-17页 |
| 1.1 AFM纳米压痕概述 | 第7-11页 |
| 1.1.1 AFM纳米压痕 | 第7-9页 |
| 1.1.2 AFM纳米压痕关键参数 | 第9-11页 |
| 1.2 AFM探针标定研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.1 直接标定(电镜成像) | 第11页 |
| 1.2.2 间接标定 | 第11-14页 |
| 1.3 课题研究意义与本文工作 | 第14-17页 |
| 第2章 盲建模理论与最佳阈值选择 | 第17-35页 |
| 2.1 盲建模理论基础 | 第17-26页 |
| 2.1.1 成像过程的几何形态学 | 第17-18页 |
| 2.1.2 盲建模算法理论 | 第18-22页 |
| 2.1.3 阈值选择对盲建模的影响 | 第22-26页 |
| 2.2 最佳阈值理论 | 第26-27页 |
| 2.2.1 最佳阈值判断因素 | 第26页 |
| 2.2.2 最佳阈值确定方法 | 第26-27页 |
| 2.3 最佳阈值法应用探究 | 第27-33页 |
| 2.3.1 仿真样品、探针与图像 | 第27-29页 |
| 2.3.2 向图像加入噪声 | 第29-30页 |
| 2.3.3 选择最佳阈值 | 第30-33页 |
| 2.4 本章小节 | 第33-35页 |
| 第3章 基于盲建模的探针标定 | 第35-47页 |
| 3.1 探针面积提取仿真 | 第35-39页 |
| 3.1.1 模型建立 | 第35-36页 |
| 3.1.2 面积提取算法 | 第36-37页 |
| 3.1.3 面积提取与误差分析 | 第37-39页 |
| 3.1.4 面积提取算法改进 | 第39页 |
| 3.2 三棱锥探针面积函数 | 第39-42页 |
| 3.2.1 Berkovich压头面积函数理论 | 第39-40页 |
| 3.2.2 AFM探针面积函数 | 第40-42页 |
| 3.3 盲建模与面积函数标定 | 第42-45页 |
| 3.3.1 AFM探针盲建模 | 第42-43页 |
| 3.3.2 探针面积提取与标定 | 第43-45页 |
| 3.4 本章小节 | 第45-47页 |
| 第4章 基于纳米压痕的探针标定 | 第47-63页 |
| 4.1 AFM纳米压痕测试 | 第47-50页 |
| 4.1.1 AFM纳米压痕测试步骤 | 第47-48页 |
| 4.1.2 力曲线数据处理 | 第48-50页 |
| 4.2 探针标定理论 | 第50-54页 |
| 4.2.1 弹性接触理论 | 第50-52页 |
| 4.2.2 Oliver-Pharr探针标定理论 | 第52-54页 |
| 4.3 纳米压痕探针标定实验 | 第54-62页 |
| 4.3.1 标准样品与标定探针 | 第54-55页 |
| 4.3.2 压痕实验与曲线拟合 | 第55-58页 |
| 4.3.3 压痕数据分析与面积标定 | 第58-60页 |
| 4.3.4 面积函数对比 | 第60-62页 |
| 4.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 第5章 AFM压痕面积修正与硬度测试 | 第63-73页 |
| 5.1 纳米硬度测试理论 | 第63-65页 |
| 5.2 投影面积误差 | 第65-66页 |
| 5.2.1 间接面积法误差 | 第65页 |
| 5.2.2 直接面积法误差 | 第65-66页 |
| 5.3 误差修正理论 | 第66-70页 |
| 5.3.1 误差模型 | 第67-68页 |
| 5.3.2 误差修正 | 第68-70页 |
| 5.4 压痕实验 | 第70-72页 |
| 5.4.1 压痕实验与压痕成像 | 第70-71页 |
| 5.4.2 压痕数据处理 | 第71-72页 |
| 5.5 本章小节 | 第72-73页 |
| 第6章 总结与展望 | 第73-75页 |
| 6.1 工作总结 | 第73页 |
| 6.2 工作展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-81页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第81-83页 |
| 致谢 | 第83页 |
