两轴直线伺服气浮工作台的设计与研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 直线伺服气浮工作台技术 | 第10-12页 |
| 1.2.1 直线伺服驱动技术 | 第10页 |
| 1.2.2 气浮导向技术概述 | 第10-12页 |
| 1.3 国内外研究现状概述 | 第12-14页 |
| 1.3.1 国外研究现状 | 第12-13页 |
| 1.3.2 国内研究现状 | 第13-14页 |
| 1.4 课题主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 两轴运动工作台结构设计 | 第15-29页 |
| 2.1 工作台布局分析 | 第15-18页 |
| 2.1.1 工作台概述 | 第15页 |
| 2.1.2 技术指标 | 第15-17页 |
| 2.1.3 布局分析 | 第17-18页 |
| 2.2 气浮导轨结构设计 | 第18-23页 |
| 2.2.1 导轨截面与节流器选型 | 第18-21页 |
| 2.2.2 导轨的材料选择 | 第21-22页 |
| 2.2.3 导轨润滑参数 | 第22-23页 |
| 2.3 直线伺服驱动原理与选型 | 第23-28页 |
| 2.3.1 直线电机基本原理 | 第23-24页 |
| 2.3.2 直线电机类型 | 第24-26页 |
| 2.3.3 直线电机选型 | 第26-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 气浮导轨流场与稳定性分析 | 第29-49页 |
| 3.1 气浮导轨理论基础 | 第29-32页 |
| 3.1.1 气体润滑技术 | 第29页 |
| 3.1.2 气浮导轨工作原理 | 第29-30页 |
| 3.1.3 气体润滑理论基础 | 第30-32页 |
| 3.2 气浮导轨流场解析与有限元分析 | 第32-43页 |
| 3.2.1 导轨承载力与刚度解析 | 第33-37页 |
| 3.2.2 流场有限元建模与分析 | 第37-40页 |
| 3.2.3 节流器分布与均压槽设计 | 第40-42页 |
| 3.2.4 润滑参数对气膜刚度的影响 | 第42-43页 |
| 3.3 气浮导轨稳定性分析 | 第43-48页 |
| 3.3.1 气锤自激现象理论分析 | 第43-44页 |
| 3.3.2 气锤自激数值分析 | 第44-46页 |
| 3.3.3 气锤自激仿真分析 | 第46-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 两轴运动工作台有限元分析 | 第49-63页 |
| 4.1 运动工作台的力学分析 | 第49-54页 |
| 4.1.1 有限元模型的建立 | 第49-50页 |
| 4.1.2 气浮导轨静力学分析 | 第50-52页 |
| 4.1.3 运动工作台模态分析 | 第52-54页 |
| 4.2 工作台的热特性分析 | 第54-59页 |
| 4.2.1 直线进给系统主要问题 | 第54-55页 |
| 4.2.2 热特性分析基础 | 第55-57页 |
| 4.2.3 x轴运动件热特性分析 | 第57-59页 |
| 4.3 工作台的改进方案 | 第59-62页 |
| 4.3.1 方案的提出 | 第59-60页 |
| 4.3.2 有限元分析 | 第60-62页 |
| 4.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
