| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-12页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第8页 |
| 1.2 国内外概况和发展趋势 | 第8-10页 |
| 1.2.1 单晶硅炉设备国内外概况 | 第8-9页 |
| 1.2.2 硅单晶炉的技术发展趋势 | 第9-10页 |
| 1.3 课题主要研究内容 | 第10-11页 |
| 1.4 本章小结 | 第11-12页 |
| 第2章 单晶硅的生长工艺分析 | 第12-19页 |
| 2.1 单晶硅制备基础 | 第12页 |
| 2.2 单晶硅拉晶过程 | 第12-17页 |
| 2.3 新装热场的煅烧 | 第17-18页 |
| 2.4 单晶硅的物理检测 | 第18页 |
| 2.5 本章小结 | 第18-19页 |
| 第3章 MCZ6000KC型单晶硅炉整体方案的制定 | 第19-23页 |
| 3.1 设备整体功能需求 | 第19页 |
| 3.2 产品开发的主要工作 | 第19页 |
| 3.3 整体结构方案制定 | 第19-21页 |
| 3.4 动力传动方案制定 | 第21-22页 |
| 3.5 本章小结 | 第22-23页 |
| 第4章 设备关键部件的设计计算 | 第23-34页 |
| 4.1 主炉室部件关键尺寸的设计 | 第23-24页 |
| 4.2 下传动机构系统的设计计算 | 第24-28页 |
| 4.2.1 下传动部件的方案 | 第24-25页 |
| 4.2.2 设计计算 | 第25-28页 |
| 4.3 上传动机构系统的设计计算 | 第28-32页 |
| 4.4 本章小结 | 第32-34页 |
| 第5章 传动控制系统实现方案 | 第34-44页 |
| 5.1 传动控制体系总体方案 | 第34-35页 |
| 5.2 控制系统体系结构 | 第35-38页 |
| 5.2.1 伺服驱动与现场总线 | 第35-36页 |
| 5.2.2 工控机与示教盒 | 第36-38页 |
| 5.3 上、下传动运动控制系统整体设计 | 第38-43页 |
| 5.3.1 开放式CODESYS软件开发平台 | 第38-40页 |
| 5.3.2 单晶硅炉整体的程序流程 | 第40-41页 |
| 5.3.3 单晶硅炉部分具体程序实现 | 第41-43页 |
| 5.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第6章 电气控制系统设计 | 第44-56页 |
| 6.1 电气控制柜构成及控制对象 | 第44-46页 |
| 6.1.1 电气控制柜结构 | 第44-45页 |
| 6.1.2 电气柜控制对象 | 第45-46页 |
| 6.2 设备报警保护设计 | 第46-47页 |
| 6.3 加热电源柜 | 第47-49页 |
| 6.3.1 三段式加热 | 第47页 |
| 6.3.2 磷源加热和视窗加热 | 第47-49页 |
| 6.4 三段加热控制部分设计 | 第49-55页 |
| 6.4.1 欧陆818控温 | 第49-50页 |
| 6.4.2 温度控制电路 | 第50-51页 |
| 6.4.3 温度偏差对拉晶的影响 | 第51-54页 |
| 6.4.4 加热温度显示 | 第54-55页 |
| 6.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 附录 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62页 |