| 致谢 | 第4-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 微加速度传感器简介 | 第11-12页 |
| 1.2 MEMS和MOEMS加速度计研究现状 | 第12-16页 |
| 1.3 MEMS加速度计温度特性的研究现状 | 第16-19页 |
| 1.4 本文的研究目标及内容 | 第19-21页 |
| 1.4.1 研究目标 | 第19页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第19-21页 |
| 2 MOEMS加速度计系统介绍 | 第21-25页 |
| 2.1 MOEMS加速度计工作原理 | 第21-23页 |
| 2.2 MOEMS加速度计系统结构 | 第23-25页 |
| 3 MOEMS加速度计微机械结构的温度特性分析 | 第25-40页 |
| 3.1 MOEMS加速度计微机械结构的温度模型建立 | 第25-34页 |
| 3.2 MOEMS加速度计的标度因数温漂和零位温漂分析 | 第34-39页 |
| 3.2.1 弹性模量的温度系数对MOEMS加速度计温度性能的影响 | 第34-37页 |
| 3.2.2 热膨胀系数对MOEMS加速度计温度性能的影响 | 第37-39页 |
| 3.3 本章小结 | 第39-40页 |
| 4 MOEMS加速度计分立系统的准静态温度特性测试 | 第40-52页 |
| 4.1 准静态温度特性测试装置 | 第40-45页 |
| 4.1.1 静态测试平台 | 第40-42页 |
| 4.1.2 温度控制系统 | 第42-45页 |
| 4.2 准静态温度特性测试结果与数据分析 | 第45-51页 |
| 4.2.1 静态实验测试与分析 | 第45-49页 |
| 4.2.2 转台翻滚实验测试与分析 | 第49-51页 |
| 4.3 本章小结 | 第51-52页 |
| 5 封装对MOEMS加速度计的温度稳定性影响 | 第52-63页 |
| 5.1 基底对MOEMS加速度计封装热应力的影响 | 第52-54页 |
| 5.2 粘接胶对MOEMS加速度计封装热应力的影响 | 第54-60页 |
| 5.2.1 粘接胶的弹性模量对封装热应力的影响 | 第54-57页 |
| 5.2.2 粘接胶的热膨胀系数对封装热应力的影响 | 第57-59页 |
| 5.2.3 粘接胶厚度对封装热应力的影响 | 第59-60页 |
| 5.3 封装结构设计与仿真分析 | 第60-62页 |
| 5.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 6 总结与展望 | 第63-65页 |
| 6.1 总结 | 第63页 |
| 6.2 展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 作者简介及硕士期间主要研究成果 | 第68页 |
