| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-28页 |
| ·引言 | 第11页 |
| ·有限元数值模拟方法 | 第11-17页 |
| ·有限元数值模拟方法原理 | 第11-15页 |
| ·有限元法定义和基本思想 | 第11-12页 |
| ·有限元方法的发展历程 | 第12-14页 |
| ·有限元方法具体分析步骤 | 第14-15页 |
| ·通用有限元数值模拟软件ANSYS | 第15-17页 |
| ·负热膨胀材料钨酸锆 | 第17-24页 |
| ·立方系负热膨胀材料 | 第17-19页 |
| ·AM_2O_7系列NTE材料 | 第17页 |
| ·AM_2O_8系列NTE材料 | 第17-18页 |
| ·A_2M_3O_12系列NTE材料 | 第18-19页 |
| ·钨酸锆制备方法 | 第19-20页 |
| ·固相法 | 第19页 |
| ·微波合成法 | 第19-20页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第20页 |
| ·共沉淀法 | 第20页 |
| ·水热法 | 第20页 |
| ·钨酸锆复合材料 | 第20-23页 |
| ·金属基ZrW_2O_8复合材料 | 第20-21页 |
| ·陶瓷基ZrW_2O_8复合材料 | 第21-22页 |
| ·聚合物基ZrW_2O_8复合材料 | 第22-23页 |
| ·钨酸锆薄膜材料 | 第23-24页 |
| ·电流束蒸发法制备ZrW_2O_8薄膜 | 第23页 |
| ·溶胶凝胶涂覆法制备ZrW_2O_8薄膜 | 第23-24页 |
| ·射频磁控溅射法制备ZrW_2O_8薄膜 | 第24页 |
| ·功能梯度材料 | 第24-27页 |
| ·梯度功能材料概述 | 第24-25页 |
| ·功能梯度薄膜 | 第25-27页 |
| ·功能梯度薄膜的制备 | 第25-26页 |
| ·功能梯度薄膜的应用 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第二章 铜/钨酸锆功能梯度薄膜优化设计流程 | 第28-33页 |
| ·铜/钨酸锆功能梯度薄膜性能优化流程前期准备 | 第28-29页 |
| ·铜/钨酸锆功能梯度薄膜工作条件分析 | 第28-29页 |
| ·设计系列铜/钨酸锆功能梯度薄膜 | 第29页 |
| ·铜/钨酸锆功能梯度薄膜数学模型的建立及有限单元的选择 | 第29-30页 |
| ·铜/钨酸锆功能梯度薄膜数学模型的建立 | 第29-30页 |
| ·有限单元类型的选择 | 第30页 |
| ·铜/钨酸锆功能梯度薄膜优化设计流程图 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 数值模拟优化铜/钨酸锆梯度功能薄膜技术参数 | 第33-48页 |
| ·有限元法计算热-应力场状态 | 第33-40页 |
| ·有限元法数值计算过程的一般假设 | 第33-34页 |
| ·有限元法模拟铜/钨酸锆功能梯度薄膜的二维稳态热-应力耦合场 | 第34-40页 |
| ·铜/钨酸锆功能梯度薄膜技术参数有限元优化 | 第40-47页 |
| ·缓冲热应力型薄膜的研究进展 | 第40-41页 |
| ·建立铜/钨酸锆功能梯度薄膜的数学模型 | 第41-42页 |
| ·铜/钨酸锆功能梯度薄膜数学模型材料参数计算 | 第42-43页 |
| ·加载温度载荷分析梯度薄膜各技术参数 | 第43-47页 |
| ·梯度薄膜叠层数N对热应力场分布状态的影响 | 第43-44页 |
| ·梯度薄膜成分分布指数P对于热应力场分布状态的影响 | 第44-45页 |
| ·梯度层厚度Hf,硅基片厚度Hm,纯铜层厚度Hc,以及温度载荷T对于体系热应力场的影响 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 铜/钨酸锆功能梯度薄膜制备及性能表征 | 第48-60页 |
| ·钨酸锆陶瓷靶材的制备 | 第48-50页 |
| ·原材料 | 第48页 |
| ·实验 | 第48-50页 |
| ·硅基片前处理 | 第50页 |
| ·双靶同时溅射制备铜/钨酸锆复合梯度薄膜 | 第50-54页 |
| ·实验 | 第50-54页 |
| ·双靶同时溅射制备铜/钨酸锆梯度复合薄膜材料 | 第54页 |
| ·单靶位双靶轮流溅射制备铜/钨酸锆复合梯度薄膜 | 第54-57页 |
| ·实验 | 第54-56页 |
| ·清理 | 第54-55页 |
| ·放靶材及样品 | 第55页 |
| ·抽真空 | 第55页 |
| ·溅射镀膜 | 第55-56页 |
| ·单靶位双靶轮流溅射制备铜/钨酸锆复合梯度薄膜 | 第56页 |
| ·磁控溅射制备方法小结 | 第56-57页 |
| ·铜/钨酸锆功能梯度薄膜性能表征 | 第57-59页 |
| ·X射线衍射(XRD)分析 | 第57-58页 |
| ·扫描电镜(SEM)分析 | 第58页 |
| ·X-350应力测试仪分析 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 结论与展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 攻读硕士期间发表的论文目录 | 第69页 |
