基于微纳结构和量子点的光电探测器研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第8-23页 |
| 1.1 引言 | 第8-13页 |
| 1.2 光电探测器的工作机理和主要性能指标 | 第13-21页 |
| 1.2.1 光电探测器主要的工作机理 | 第13-17页 |
| 1.2.2 光电探测器的主要性能指标 | 第17-21页 |
| 1.3 选题意义和研究内容 | 第21-23页 |
| 第2章 垂直微纳结构的设计、制备及其光电应用 | 第23-34页 |
| 2.1 研究背景 | 第23-26页 |
| 2.2 垂直短沟道器件结构制作及表征 | 第26-32页 |
| 2.2.1 PS小球自组装工艺 | 第26-29页 |
| 2.2.2 器件结构制作及表征 | 第29-32页 |
| 2.3 垂直微纳结构光电探测应用 | 第32-33页 |
| 2.4 小结 | 第33-34页 |
| 第3章 氧化石墨烯量子点-二硫化钨光电探测器 | 第34-46页 |
| 3.1 研究背景 | 第34-35页 |
| 3.2 材料和器件的制作及表征 | 第35-41页 |
| 3.2.1 WS_2材料制作及表征 | 第36-38页 |
| 3.2.2 氧化石墨烯量子点的表征 | 第38页 |
| 3.2.3 器件制作及表征 | 第38-41页 |
| 3.3 光电测试和分析 | 第41-45页 |
| 3.4 小结 | 第45-46页 |
| 第4章 结论与展望 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第56页 |
