基于负刚度原理光栅刻划机混合隔振研究
| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| abstract | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第16-25页 |
| 1.1 课题的来源 | 第16页 |
| 1.2 课题研究的背景与意义 | 第16-18页 |
| 1.3 本课题研究国内外概况 | 第18-23页 |
| 1.3.1 隔振技术的发展状况 | 第18-20页 |
| 1.3.2 负刚度隔振技术发展状况 | 第20-22页 |
| 1.3.3 振动主动控制算法研究现状 | 第22-23页 |
| 1.4 本课题研究内容及方法 | 第23-25页 |
| 第二章 光栅刻划机环境振动分析 | 第25-34页 |
| 2.1 引言 | 第25页 |
| 2.2 振动理论基础 | 第25-27页 |
| 2.3 环境振动因素分析 | 第27-29页 |
| 2.4 人致振动分析 | 第29-32页 |
| 2.4.1 人体动力学模型 | 第29-30页 |
| 2.4.2 人行激励 | 第30-32页 |
| 2.5 环境振动传递 | 第32-33页 |
| 2.6 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 正负刚度弹簧并联设计与优化 | 第34-49页 |
| 3.1 引言 | 第34-36页 |
| 3.2 磁体磁力计算及建模分析 | 第36-40页 |
| 3.2.1 磁体介质 | 第36-37页 |
| 3.2.2 矩形永磁介质磁力及刚度建模 | 第37-40页 |
| 3.3 永磁体负刚度的优化分析 | 第40-44页 |
| 3.3.1 矩形永磁体尺寸分析 | 第40-42页 |
| 3.3.2 永磁体负刚度的非线性 | 第42-44页 |
| 3.4 正负刚度并联 | 第44-47页 |
| 3.4.1 空气弹簧特点 | 第44-45页 |
| 3.4.2 空气弹簧刚度 | 第45-46页 |
| 3.4.3 正负并联 | 第46-47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-49页 |
| 第四章 光栅刻划机隔振平台系统建模 | 第49-59页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 隔振平台动力学方程 | 第49-53页 |
| 4.3 耦合分析 | 第53-56页 |
| 4.3.1 模态分解 | 第53-54页 |
| 4.3.2 耦合影响分析 | 第54-56页 |
| 4.4 复杂激励下振动传递率 | 第56-58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 隔振平台主被动复合隔振研究 | 第59-71页 |
| 5.1 引言 | 第59页 |
| 5.2 模糊神经网络PID控制概述 | 第59-62页 |
| 5.2.1 PID控制 | 第59-60页 |
| 5.2.2 模糊控制系统 | 第60-61页 |
| 5.2.3 神经网络控制系统 | 第61-62页 |
| 5.3 模糊神经网络PID控制器设计 | 第62-64页 |
| 5.3.1 模糊神经PID系统结构 | 第62页 |
| 5.3.2 模糊神经网络结构 | 第62-64页 |
| 5.4 模糊神经网络学习算法 | 第64-65页 |
| 5.5 隔振平台仿真分析 | 第65-70页 |
| 5.6 本章小结 | 第70-71页 |
| 第六章 总结与展望 | 第71-73页 |
| 6.1 论文总结 | 第71页 |
| 6.2 研究展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第77-78页 |
