摘要 | 第5-7页 |
ABSTRACT | 第7-8页 |
第一章 绪论 | 第11-43页 |
1.1 表皮电子器件领域 | 第11-14页 |
1.1.1 表皮电子器件的概念 | 第11-12页 |
1.1.2 表皮电子器件的发展思路 | 第12-13页 |
1.1.3 表皮电子器件的优势 | 第13-14页 |
1.2 表皮压力传感器 | 第14-28页 |
1.2.1 压力传感器的分类 | 第14-15页 |
1.2.2 表皮压力传感器的研究现状 | 第15-23页 |
1.2.3 表皮压力传感器的发展趋势 | 第23-26页 |
1.2.4 表皮压力传感器其他方面的工作 | 第26-27页 |
1.2.5 表皮压力传感器研究中存在的问题 | 第27-28页 |
1.3 本章小结 | 第28-29页 |
1.4 本论文研究目的与内容 | 第29-31页 |
参考文献 | 第31-43页 |
第二章 激光直写还原石墨烯制备表皮压力传感器 | 第43-63页 |
2.1 研究背景 | 第43-44页 |
2.2 实验仪器 | 第44-48页 |
2.2.1 激光直写设备 | 第44-45页 |
2.2.2 压力传感器测试系统 | 第45-48页 |
2.3 材料与方法 | 第48-50页 |
2.3.1 氧化石墨烯合成 | 第48-49页 |
2.3.2 GO/PDMS薄膜制备 | 第49页 |
2.3.3 器件制备 | 第49-50页 |
2.4 结果与讨论 | 第50-58页 |
2.4.1 激光直写还原石墨烯的表征 | 第50-52页 |
2.4.2 器件形貌表征 | 第52-53页 |
2.4.3 压力传感机理 | 第53-54页 |
2.4.4 器件的性能表征 | 第54-57页 |
2.4.5 器件的应用展示 | 第57-58页 |
2.5 本章小结 | 第58-59页 |
参考文献 | 第59-63页 |
第三章 激光辐照硅胶制备石墨烯及其压力传感器 | 第63-87页 |
3.1 研究背景 | 第63-64页 |
3.2 实验仪器 | 第64-67页 |
3.2.1 激光光刻设备 | 第64-65页 |
3.2.2 压力传感器测试系统 | 第65-67页 |
3.3 材料与方法 | 第67-69页 |
3.3.1 PDMS薄膜制备 | 第67-68页 |
3.3.2 器件制备 | 第68-69页 |
3.4 结果与讨论 | 第69-83页 |
3.4.1 激光辐照直写PDMS制备石墨烯的表征 | 第69-79页 |
3.4.2 器件形貌表征 | 第79-80页 |
3.4.3 压力传感器件工作机理 | 第80页 |
3.4.4 器件的压力传感性能表征 | 第80-82页 |
3.4.5 器件应用展示 | 第82-83页 |
3.5 本章小结 | 第83-84页 |
参考文献 | 第84-87页 |
第四章 接触电导型压力传感器的理论模型 | 第87-111页 |
4.1 研究背景 | 第87-89页 |
4.2 理论模型 | 第89-96页 |
4.2.1 物理图像 | 第89-91页 |
4.2.2 模型假设 | 第91页 |
4.2.3 模型建立 | 第91-94页 |
4.2.4 衬底厚度修正 | 第94-96页 |
4.3 模型应用 | 第96-106页 |
4.3.1 从AFM得到的高度累积分布函数仿真电导-压力曲线 | 第96-99页 |
4.3.2 从微观几何结构仿真电导-压力曲线 | 第99-106页 |
4.3.3 最理想的微观结构 | 第106页 |
4.4 本章小结 | 第106-107页 |
参考文献 | 第107-111页 |
第五章 总结与展望 | 第111-115页 |
5.1 总结 | 第111-112页 |
5.2 展望 | 第112-115页 |
5.2.1 实际应用的技术方案 | 第112-113页 |
5.2.2 后续可开展的研究工作 | 第113-115页 |
附录 | 第115-121页 |
致谢 | 第121-123页 |
在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第123页 |