二维工作台多自由度同时测量系统的研制及实验研究
| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| abstract | 第9-10页 |
| 第一章 绪论 | 第16-23页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第16页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第16-21页 |
| 1.2.1 激光干涉测量法 | 第17页 |
| 1.2.2 衍射测量法 | 第17-19页 |
| 1.2.3 多光束基准测量法 | 第19-20页 |
| 1.2.4 多CCD视觉测量法 | 第20-21页 |
| 1.3 课题研究的目的及意义 | 第21-22页 |
| 1.4 课题来源及主要研究内容 | 第22-23页 |
| 1.4.1 课题来源 | 第22页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第22-23页 |
| 第二章 测量系统的整体方案和光路系统 | 第23-40页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 测量原理 | 第23-29页 |
| 2.2.1 激光干涉位移测量原理 | 第23-25页 |
| 2.2.2 激光自准直角度测量原理 | 第25-28页 |
| 2.2.3 激光多自由度同时测量系统的测量原理 | 第28-29页 |
| 2.3 测量系统总体方案和系统指标 | 第29-31页 |
| 2.3.1 测量系统总体方案 | 第29-31页 |
| 2.3.2 系统指标 | 第31页 |
| 2.4 测量系统的光路 | 第31-36页 |
| 2.4.1 测量光路 | 第31-32页 |
| 2.4.2 光学元器件的选取 | 第32-36页 |
| 2.5 测量系统的机械结构 | 第36-37页 |
| 2.5.1 光纤耦合光源固定装置 | 第36页 |
| 2.5.2 测量光路装夹固定装置 | 第36-37页 |
| 2.6 光路系统的整体布局及搭建调试 | 第37-39页 |
| 2.7 本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 信号处理系统的设计 | 第40-53页 |
| 3.1 引言 | 第40页 |
| 3.2 信号处理电路设计 | 第40-49页 |
| 3.2.1 位移测量信号处理电路 | 第40-45页 |
| 3.2.2 角度测量信号处理电路 | 第45-49页 |
| 3.2.3 电路原理图及PCB设计 | 第49页 |
| 3.3 信号处理系统的软件设计 | 第49-52页 |
| 3.3.1 位移测量数据采集与处理系统 | 第50-51页 |
| 3.3.2 角度测量数据采集与处理系统 | 第51-52页 |
| 3.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 系统性能测试及实验数据分析 | 第53-63页 |
| 4.1 引言 | 第53页 |
| 4.2 二维角度的标定 | 第53-54页 |
| 4.3 静态漂移测试 | 第54-56页 |
| 4.3.1 位移静态漂移测试 | 第54-55页 |
| 4.3.2 角度静态漂移测试 | 第55-56页 |
| 4.4 分辨力测试 | 第56-58页 |
| 4.4.1 位移分辨力测试 | 第56-57页 |
| 4.4.2 角度分辨力测试 | 第57-58页 |
| 4.5 测量系统比对实验 | 第58-61页 |
| 4.5.1 位移测量比对实验 | 第59-60页 |
| 4.5.2 角度测量比对实验 | 第60-61页 |
| 4.6 本章小结 | 第61-63页 |
| 第五章 总结与展望 | 第63-65页 |
| 5.1 研究总结 | 第63页 |
| 5.2 工作展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第68-69页 |
