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LMO与LMO:MgO薄膜的溅射生长研究

摘要第5-6页
ABSTRACT第6-7页
第一章 绪论第10-21页
    1.1 第二代高温超导带材第10-12页
        1.1.1 第二代高温超导带材的发展史第10-11页
        1.1.2 第二代高温超导带材的应用第11-12页
    1.2 YBCO超导带材的技术路线第12-13页
    1.3 LaMnO3缓冲层的研究现状及趋势第13-18页
        1.3.1 LMO的结构第14-15页
        1.3.2 LMO薄膜的研究现状第15-16页
        1.3.3 LMO的发展趋势第16-18页
    1.4 LMO:MgO复合薄膜第18-19页
    1.5 论文选题依据及研究内容第19-21页
第二章 实验原理与薄膜表征方法第21-30页
    2.1 射频磁控溅射第21-23页
    2.2 设备简介第23-25页
    2.3 薄膜表征方法简介第25-30页
        2.3.1 X射线衍射分析——XRD第25-26页
        2.3.2 原子力显微镜——AFM第26-27页
        2.3.3 扫描电子显微镜——SEM第27-28页
        2.3.4 临界电流密度的测试方法简介第28页
        2.3.5 临界电流Ic的测试方法简介第28-30页
第三章 LMO薄膜的生长控制研究第30-50页
    3.1 前言第30页
    3.2 沉积温度对LMO薄膜的影响第30-35页
        3.2.1 沉积温度对LMO薄膜结构的影响第31-33页
        3.2.2 沉积温度对LMO薄膜表面形貌的影响第33-35页
    3.3 溅射功率对LMO薄膜的影响第35-38页
    3.4 Ar气压对LMO薄膜的影响第38-41页
        3.4.1 Ar气压对LMO薄膜结构的影响第38-40页
        3.4.2 Ar气压对LMO薄膜表面形貌的影响第40-41页
    3.5 膜厚对LMO薄膜的影响第41-44页
        3.5.1 膜厚对LMO薄膜结构的影响第42-43页
        3.5.2 膜厚对LMO薄膜表面形貌的影响第43-44页
    3.6 LMO薄膜的表面粗糙度对超导层YBCO的影响第44-49页
    3.7 本章小结第49-50页
第四章 LMO:MgO复合薄膜的生长研究第50-65页
    4.1 前言第50页
    4.2 LMO:MgO薄膜在单晶LAO上的生长研究第50-60页
        4.2.1 沉积温度对LMO:MgO复合薄膜生长的影响第50-57页
        4.2.2 溅射功率对LMO:MgO复合薄膜生长的影响第57-59页
        4.2.3 Ar气压对LMO:MgO复合薄膜生长的影响第59-60页
    4.3 LMO:MgO复合薄膜在基带上的生长研究第60-64页
        4.3.1 沉积温度对LMO:MgO复合薄膜生长的影响第60-61页
        4.3.2 溅射功率对LMO:MgO复合薄膜生长的影响第61-62页
        4.3.3 Ar气压对LMO:MgO复合薄膜生长的影响第62-64页
    4.4 本章小结第64-65页
第五章 LMO薄膜和LMO:MgO复合薄膜上的YBCO对比研究第65-70页
    5.1 前言第65页
    5.2 YBCO薄膜的对比第65-69页
    5.3 本章小结第69-70页
第六章 结论与展望第70-71页
致谢第71-72页
参考文献第72-79页
攻读硕士学位期间取得的成果第79-80页

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